液氮探針臺(tái)LNPS-80可以對(duì)器件進(jìn)行非破壞性的測(cè)試,器件的尺寸可達(dá)到80mm??梢詫?duì)材料或器件的電學(xué)特性、光電特性等效應(yīng)進(jìn)行測(cè)量,為DC測(cè)量RF測(cè)量和微波特性測(cè)量提供一個(gè)低溫測(cè)試平臺(tái)。納米電子材料、量子線、量子點(diǎn)和半導(dǎo)體材料是在探針臺(tái)上進(jìn)行測(cè)量的比較典型的材料。探針臺(tái)系統(tǒng)的探針、測(cè)試電纜、樣品臺(tái)都有多種類型可供選擇,從而滿足不同用戶的需要。
LNPS-80的溫度變化范圍從80K到425K,系統(tǒng)需要使用液氮實(shí)現(xiàn)變溫,防熱輻射屏大大降低了黑體輻射,提高了制冷效率,減少了液氮消耗。樣品臺(tái)上裝有溫度傳感器和加熱器,實(shí)現(xiàn)樣品臺(tái)快速變溫以及精準(zhǔn)控溫。
液氮探針臺(tái)LNPS-80具有四個(gè)可以進(jìn)行微調(diào)的探針臂,每個(gè)探針臂上的探針都可以進(jìn)行三維方向上的精準(zhǔn)定位。探針采用鈹或者鎢制成,針尖直徑10微米,減少探針對(duì)樣品的熱傳導(dǎo)。每個(gè)探針臂都采用304優(yōu)質(zhì)不銹鋼加G10制作而成,每個(gè)探針臂都進(jìn)行有效的熱沉,減小探針臂漏熱進(jìn)而減少探針對(duì)樣品的漏熱。
為了提高系統(tǒng)的實(shí)用性和操作性,系統(tǒng)配備了高放大倍數(shù)的顯微鏡。
LNPS-80降溫曲線
LNPS-80控溫曲線