安捷倫公司設(shè)計(jì)的TPS 渦輪分子泵系統(tǒng)
其配備 Agilent TwisTorr渦輪分子泵,并以安捷倫渦輪式干泵或旋片泵為前級(jí),使其具有即插即用的特性,并退出了適用于小至中等體型的輕型干式臺(tái)式解決方案或者高容量、大抽速范圍的推車版本。
TPS 迷你型:便攜的干式系統(tǒng)具有極小的占地面積,采用新型的 TwisTorr 74 FS;
TPS 緊湊型:TwisTorr 304 FS,高真空性能,極短的抽真空時(shí)間、集成式IDP-3渦旋式干泵;
TPS 移動(dòng)型:可移動(dòng)推車、大容積系統(tǒng)、大抽速范圍;
TPS-flexy 組合型:可自行安裝、靈活且可以升級(jí)的解決方案。
主要特點(diǎn)
◆ 靈活:提供各種真空計(jì)、閥和組件;
◆ 緊湊而便攜:占用面積小、重量輕;
◆ 簡(jiǎn)便易用,即插即用;
◆ 高性價(jià)比的解決方案;
◆ 通用的功率配置和安全標(biāo)準(zhǔn);
◆ 技術(shù)、應(yīng)用和客戶服務(wù)支持;
◆ 提供高級(jí)更換、升級(jí)和維修計(jì)劃;
◆ 干式版本:無烴污染,無油泄露。