安捷倫(原Varian)公司利用干式渦旋真空獲得技術(shù)為用戶提供了高抽速,低極限壓強(qiáng)的真空泵產(chǎn)品。干式渦旋泵具有全無油、高耐用性、高可靠性以及易維護(hù)等優(yōu)勢(shì),是眾多應(yīng)用領(lǐng)域的理想前級(jí)真空獲得產(chǎn)品。
IDP-3 系列干泵是安捷倫公司推出的緊湊型全無油的高性能真空泵,能夠適合非常廣泛的應(yīng)用需要。IDP-3 所具有的60/升/分鐘抽氣速度以及 250mTorr(約33Pa)極限壓強(qiáng),使其在同級(jí)別產(chǎn)品當(dāng)中具有的優(yōu)勢(shì)。
SH-110全密封干式渦旋泵具有業(yè)內(nèi)的真空獲得性能,結(jié)構(gòu)緊湊,能夠輕易地實(shí)現(xiàn)與現(xiàn)有各種科研、生產(chǎn)設(shè)備的真空系統(tǒng)相集成。此型號(hào)單級(jí)渦旋泵具有110升/分鐘的抽速(60Hz電源條件下),可獲得50mTorr(約67Pa)的極限真空,即使單獨(dú)作為粗真空獲得設(shè)備也是非常理想的選擇。SH-110渦旋泵符合CE、CSA以及Semi S2-0200等多種標(biāo)準(zhǔn)。
TriScroll 300 是一款用于初級(jí)真空獲得的多級(jí)干式渦旋泵產(chǎn)品,具有出色的工作穩(wěn)定性。TriScroll 300 以高抽速為用戶提供了具有較低極限真空的無油潔凈真空環(huán)境。多年的實(shí)際應(yīng)用證明,安捷倫的TriScroll 300 設(shè)計(jì)具有很高的可靠性和耐用性,產(chǎn)品性能穩(wěn)定,性價(jià)比非常突出。
TriScroll 600 是一款用于初級(jí)真空獲得的多極干式渦旋泵產(chǎn)品,具有出色的工作穩(wěn)定性。TriScroll 600 以高抽速為用戶提供了具有較低極限真空的無油潔凈環(huán)境。多年的實(shí)際應(yīng)用證明,Varian的TriScroll設(shè)計(jì)具有很高的可靠性和耐用性,產(chǎn)品性能穩(wěn)定,性價(jià)比非常突出。
型號(hào) | IDP-3 | SH-110 | TriScroll 300 | TriScroll 600 |
抽速(l/min) | 50 | 90 | 210 | 420 |
極限真空(mbar) | 0.33 | 0.066 | 0.013 | 0.0093 |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 |
重量(Kg) | 9.5 | 19 | 26.4 | 32 |
產(chǎn)品特點(diǎn):
◆ 全無油泵,不會(huì)污染真空系統(tǒng)
◆ 采用獨(dú)立馬達(dá)與軸承的密封設(shè)計(jì)
◆ 體積小巧:351x181x140mm
◆ 與老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的極限壓強(qiáng)
◆ 無任何可能造成災(zāi)害性系統(tǒng)故障的機(jī)械部件
◆ 低噪聲,低振動(dòng)
性能特點(diǎn)
◆ 工作狀態(tài)下泵體發(fā)熱低
◆ 馬達(dá)功率不到200瓦,低功耗
◆ 內(nèi)置出氣閥門有效降低工作噪聲
◆ 出氣口位置可以動(dòng),以便更好地適應(yīng)空間要求
◆ 高壓區(qū)間抽速高,確保迅速進(jìn)入真空狀態(tài)
◆ 重量輕,配有把手,易于攜帶
◆ 內(nèi)置故障保護(hù)隔離閥保證真空系統(tǒng)的安全
◆ 配有自動(dòng)氣鎮(zhèn)閥以有效排空水蒸氣
◆ 維護(hù)簡(jiǎn)便,只需定期更換密封圈即可
技術(shù)特點(diǎn)
◆ 的TriScrollTM專業(yè)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
◆ 具有軸承吹掃功能,保護(hù)軸承不被工藝氣體或粉塵污染
◆ 高可靠性
◆ 具有自動(dòng)氣鎮(zhèn)口