安捷倫(原Valian)公司生產(chǎn)的真空測量設(shè)備包括真空規(guī)和真空計,真空規(guī)主要有:531和536型熱偶真空規(guī),熱傳導(dǎo)真空規(guī),525型冷陰極真空規(guī),熱陰極電離真空規(guī),倒磁控管真空真空規(guī),CT-100型Active低真空規(guī),Eyesys ConvecTorrTM 型Active低真空規(guī),Eyesys Mini-BA Active高真空規(guī),Eyesys Mini-IMG Active高真空規(guī),真空計主要有801型真空計和XGS-600真空計。
一、真空規(guī)
(1)531和536型熱偶真空規(guī):適合于連續(xù)和準(zhǔn)確地測量壓力為1 x 10-3 torr 至2.0 torr 的真空度,二者均對安裝取向沒有選擇性,而且對壓力變化響應(yīng)快速。
(2)熱傳導(dǎo)真空規(guī):能夠準(zhǔn)確測量真空度,也特別適合那些需要快速、重復(fù)性地從大氣抽空的應(yīng)用領(lǐng)域。熱傳導(dǎo)規(guī)管不同于常規(guī)的對流型規(guī)管,系統(tǒng)振動不會對它產(chǎn)生影響。可靠的設(shè)計使其能夠在0。C 至50。C的范圍內(nèi)準(zhǔn)確地讀數(shù)。
(3)525型冷陰極真空規(guī):測量的真空度范圍為 1X10-8 至1X10-2 torr,其測量值準(zhǔn)確度高、重復(fù)性好、可靠性高。由于沒有易燒毀的燈絲,突然暴露大氣不會對該規(guī)造成任何的損壞。525 規(guī)在結(jié)構(gòu)上和倒磁控管真空規(guī)類似,因此它可以在非常低的真空度下啟動,而常規(guī)的冷陰極規(guī)在此壓力下推測則難以啟動。
(4)熱陰極電離真空規(guī):有多個系列可供不同用戶選擇。下面以563標(biāo)準(zhǔn)量程熱陰極電離真空計為例來說明。563 型真空計在較大的量程范圍(2X10-10 torr 至1X10-3 torr)內(nèi)表現(xiàn)出色。玻璃腔內(nèi)壁鍍鉑,能夠屏蔽掉低真空下靜電對真空計內(nèi)部零件的損壞,也可以分流掉隨時壓力升高積累起來的靜電荷。為了延長燈絲的壽命,563型真空計使用鍍釷的銥燈絲。同樣可以提供參考真空規(guī),小于5X10-6 torr 下密封,用于測試真空規(guī)。
(5)倒磁控管真空真空規(guī):不僅能夠提供準(zhǔn)確而高重復(fù)性地真空度數(shù),而且能夠應(yīng)用于惡劣及腐蝕性的環(huán)境。真空測量上的性能和 BA 規(guī)相近,但清理和維修如同普通冷陰極規(guī)一樣簡單,卻沒有其他普通冷陰極規(guī)在使用中的局限性。它的這些特點使其尤其適合于諸如真空爐等工業(yè)系統(tǒng)中 --在這些環(huán)境中,耐久性是最重要的指標(biāo)。適用于超高真空的IMG 倒磁控真空計可測量非常低的真空度,且能夠在低至 10-11 torr 的壓力下啟動。同時,即使還連接著電纜,適用于 UHV 的IMG 真空計也能夠耐受非常高的烘烤溫度。
(6)CT-100型Active低真空規(guī):可以測量1X10-4 torr至大氣壓的范圍。0.2 秒的快速響應(yīng)和出眾的測量精度,使其成為替換皮拉尼真空計的理想選擇。它具有兩個以上可以由用戶設(shè)置兩個設(shè)定點 (set point),當(dāng)壓力達(dá)到設(shè)定壓力的時候,它可以輸出觸發(fā)信號。每一組提示信號包含一個電子輸出信號以及LED燈的不斷閃動。
(7)Eyesys ConvecTorrTM 型Active低真空規(guī):是一個結(jié)構(gòu)緊湊且經(jīng)濟(jì)可靠的壓力測試裝置。它在1mTorr 到大氣壓的范圍內(nèi)對壓力快速響應(yīng),壓力觸發(fā)點可以用數(shù)字開關(guān)選擇(避免模擬調(diào)節(jié)帶來的信號水平不穩(wěn)),在5 mtorr 至 500 torr范圍內(nèi)共有16 個水平可以設(shè)置。Eyesys ConvecTorr 規(guī)的另一個顯著優(yōu)點是其可以自動校準(zhǔn)。所有組件均裝在一個緊湊的盒中,包括真空傳感器和所有的控制電路,因此省去了控制器。
(8)Eyesys Mini-BA Active高真空規(guī):是Eyesys ConvecTorrTM 規(guī)的高真空版本。Eyesys Mini-BA 的壓力測試范圍為10 mtorr 至2X10-9 torr,它可以通過模擬或數(shù)字信號遠(yuǎn)程操作。輸出的壓力信號可通過不同的選件讀取,既可以通過LED 直接顯示,亦可以為與壓力對應(yīng)得電壓模擬信號,或RS-232 /RS-458 串行數(shù)據(jù)接口。除此之外,使用者可以設(shè)置兩個SPST參考點以作為過程控制之用。電子流除氣為標(biāo)準(zhǔn)功能。
(9)Eyesys Mini-IMG Active高真空規(guī):該系統(tǒng)是基于倒磁控管高真空測量真空計的成熟技術(shù),可以可靠地工作于10-3 torr 至10-9 torr 的使用環(huán)境。由于所有的組件均集成在一個裝置內(nèi),無需另配置外部控制器。它既可將與壓力對應(yīng)得電壓模擬輸出信號接到計算機或PLC系統(tǒng)即可。
二、真空計
(1)801型真空計:801 型真空計工作穩(wěn)定而再現(xiàn)性好,主要用于1X10-3 torr 至2 torr 的低真空熱偶規(guī)測量。該款結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕盈,同時配備10英尺長的真空規(guī)線纜、6英尺長的電源線纜,以及表頭面板上三個用于固定的柱頭螺栓。用戶可以單獨選購?fù)呃锇驳?31和536 型熱偶真空規(guī)用于801型真空計。801型真空計的顯示為模擬信號顯示,面板刻度涵蓋主要的真空范圍。該控制器同時還可以提供一個模擬輸出接口用于在其它設(shè)備上記錄真空數(shù)據(jù)。
(2)XGS-600真空計:全新