菏澤力芯電子科技有限公司設(shè)計(jì)生產(chǎn) 半導(dǎo)體清洗設(shè)備、CDS系統(tǒng)、電化學(xué)鍍?cè)O(shè)備各種石英存儲(chǔ)柜、閥箱、花籃、閥門、泵、接頭PFA焊接機(jī)等。
半導(dǎo)體清洗設(shè)備:包含手動(dòng)/自動(dòng)/半自動(dòng)槽式清洗機(jī)、全自動(dòng)去膠機(jī)、自動(dòng)混酸蝕刻機(jī)、單片清洗機(jī)等等 ,可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品
外延部件清洗這是一款用于半導(dǎo)體制造過程中的EPI(Epitaxial)外延部件清洗的設(shè)備,主要用于在晶圓上進(jìn)行薄膜沉積的預(yù)鍍工藝。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展,對(duì)EPI外延清洗機(jī)的需求也在不斷增長(zhǎng)。市場(chǎng)上存在多種類型的EPI外延清洗機(jī),以滿足不同工藝需求。大家可以選擇適合自己的,當(dāng)然也歡迎咨詢,為你需求量身定做。
技術(shù)特點(diǎn):
現(xiàn)代EPI外延清洗機(jī)通常采用高度自動(dòng)化的設(shè)計(jì),能夠?qū)崿F(xiàn)精確控制和遠(yuǎn)程監(jiān)控,提高操作效率和安全性。同時(shí),該設(shè)備設(shè)計(jì)有排風(fēng)系統(tǒng)和漏液檢測(cè)系統(tǒng),便于維護(hù),提高了設(shè)備的安全性和可靠性。
應(yīng)用領(lǐng)域:
EPI外延清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,特別是在晶圓級(jí)預(yù)燒、磁性退火、黏晶固化、穩(wěn)定性測(cè)試、熱沖擊處理等工藝中,對(duì)EPI外延部件的清洗要求很高。