設(shè)備名稱(chēng):硅片熱處理回轉(zhuǎn)爐
設(shè)備型號(hào):BXG-36-11
爐膽尺寸:φ219*3000mm(直徑*長(zhǎng)度)
爐膽材質(zhì):SUS2520高溫不銹鋼
燒結(jié)時(shí)間:可根據(jù)產(chǎn)品工藝調(diào)節(jié)
使用氣氛:空氣中燒結(jié)
額定功率:36KW
電壓:380V
相數(shù):三相
額定溫度:1100℃
控制精度:±1℃
爐膛及保溫材料:氧化鋁陶瓷纖維
控制方式:可控硅移相調(diào)壓
報(bào)警保護(hù):超溫報(bào)警保護(hù)
溫控儀表:定值溫度表
熱電偶:K型
旋轉(zhuǎn)速度:1-6/min(變頻調(diào)節(jié))
爐殼整體材質(zhì):A3鋼
加熱溫區(qū):分成4個(gè)溫區(qū),4個(gè)溫區(qū)單獨(dú)控溫
加熱元件:硅碳棒
加熱方式:上下加熱
控制系統(tǒng):溫度控制采用PID自動(dòng)控制,自動(dòng)升溫調(diào)節(jié),PID自整定,過(guò)零觸發(fā)。
執(zhí)行元件可控硅,具有無(wú)機(jī)械觸點(diǎn),無(wú)噪聲、壽命長(zhǎng),對(duì)電網(wǎng)無(wú)干擾等優(yōu)點(diǎn),操作集中觀察直觀。
硅片熱處理回轉(zhuǎn)爐
注:硅片熱處理回轉(zhuǎn)爐可根據(jù)客戶要求設(shè)計(jì)定作,詳情請(qǐng)