LINE TECH自1997年成立后邁進(jìn)了氣體控制相關(guān)技術(shù)工程,終于誕生出今天的M系列,MFC/MFM產(chǎn)品。
LINE TECH氣體質(zhì)量流量控制器和流量計廣泛應(yīng)用于:真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入,直拉式晶爐,精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過程控制器、大學(xué)實驗室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。
主要參數(shù):
流量范圍: 0.005-125(slpm)
響應(yīng)時間: ≤2
精 度: ≤1%
重 復(fù) 性: ±0.25
輸出信號: 0-5vdc或4-20mA
供電電壓: 15-28vdc
溫度范圍: 0-50℃
相關(guān)型號:
M3030V M3030A M3050V M3050A M3100V M3100A
M2030V M2030A M2050V M2050A M2100V M2100A