蝕刻洗鋁防偽
防偽標(biāo)簽廠(chǎng)蝕刻洗鋁防偽技術(shù)可減少蝕刻腔體內(nèi)含鋁顆粒物的含量,使得干蝕刻制程中顆粒物掉落于待蝕刻膜層上的概率減少,解決了線(xiàn)路蝕刻殘留和短路的問(wèn)題,提高產(chǎn)品良率。
蝕刻洗鋁防偽步驟1:防偽標(biāo)簽廠(chǎng)提供一鋁膜基板,所述鋁膜基板包括襯底基板及設(shè)于所述襯底基板上的鋁膜,在所述鋁膜上涂布光阻層,采用光罩對(duì)光阻層進(jìn)行曝光顯影后形成光阻層圖形;
蝕刻洗鋁防偽步驟2:防偽標(biāo)簽廠(chǎng)提供一干蝕刻設(shè)備,所述干蝕刻設(shè)備具有蝕刻腔體,將帶有光阻層圖形的鋁膜基板放入所述蝕刻腔體中,向所述蝕刻腔體內(nèi)通入含氯氣體,對(duì)鋁膜基板進(jìn)行蝕刻,所述含氯氣體對(duì)鋁膜上未被光阻層圖形覆蓋的部分進(jìn)行蝕刻,得到設(shè)計(jì)圖案,在蝕刻過(guò)程中,控制所述蝕刻腔體內(nèi)的溫度與壓力,使含氯氣體與鋁膜反應(yīng)生成的氯化鋁保持氣體狀態(tài),減少氯化鋁顆粒的生成;
蝕刻洗鋁防偽步驟3:采用抽氣設(shè)備抽出所述蝕刻腔體內(nèi)的大部分氣體,通入含氟氣體,通電解離后,含氟氣體的等離子體與蝕刻腔體內(nèi)殘留的氯化鋁發(fā)生反應(yīng),含氟氣體中的氟元素與氯化鋁中的氯元素進(jìn)行置換,生成氟化鋁。