特長
·可以使納米管垂直生長在基板上。
·僅在玻璃基板上的特定金屬部位可以直接、選擇性地生長納米管。
·成長時的基板溫度約為600℃。
·具備加熱機(jī)構(gòu)/微波功率可變/基板加熱/電場施加機(jī)構(gòu)/熱絲/排氣系統(tǒng)追加/氣體系統(tǒng)追加/路鎖等選項(xiàng)。
用途
·半導(dǎo)體工藝(冷布線、柵電極)
規(guī)格
| CN-CVD-400 |
基板尺寸 | 4英寸 |
設(shè)置空間 | 3.5m×1.7m×2.1m(不包括維護(hù)空間) |
AC電源 | 200V ±10% |
管道配合 | NW25KF |
稀釋氣體 | 氮>10SLM |
過程煤氣的配合 | VCR 6.35mm |