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超高真空飛濺裝置MPS系列

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公司名稱青島益嘉元科貿(mào)有限公司
品牌
型號
所在地青島市
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時間2024/8/10 7:48:14
訪問次數(shù)77

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公司介紹主營產(chǎn)品

青島益嘉元科貿(mào)有限公司是專業(yè)經(jīng)營各類進口機械設(shè)備,儀器儀表及各種配件的一站式進口產(chǎn)品綜合服務(wù)商.
    優(yōu)秀的產(chǎn)品和完善的服務(wù)是我司努力的目標,希望能為客戶提供更好的選擇.
    我司主要代理BACHARACH鹵素檢漏儀H25-IR,冷媒回收機,冷媒分析儀;愛發(fā)科ULVAC-氦質(zhì)譜檢漏儀;愛發(fā)科ULVAC-真空計;愛發(fā)科ULVAC-真空泵;新機械NEW-MACHINE-快速接頭;神港精機SHINKO SEIKI-真空泵;淺野ASANO-真空成型機;*CONTEC-板卡,工控機;大進DAISHIN-自動焊接機,點火器;松村MORESCO-潤滑油;出光IDEMITSU-潤滑油;共和KYOWA-應(yīng)變測試儀,應(yīng)變片;大和DAIWA-防銹劑,那智不二越NACHI-焊接機器人,搬運機器人等產(chǎn)品.
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產(chǎn)品簡介在線詢價

超高真空飛濺裝置MPS系列是基于豐富的經(jīng)驗和實際成果開發(fā)的飛濺裝置。比以往的濺射放電壓力低約1位數(shù)，可以在低壓力下維持放電。另外，采用長慢型可以實現(xiàn)良好的膜厚分布。

超高真空飛濺裝置MPS系列產(chǎn)品信息

特長

·低壓力工藝比以往低約1位數(shù)的壓力可以維持放電。

·即使使用與良好的膜厚分布基板尺寸相同直徑的目標，也可以獲得非常好的膜厚分布。

·采用穩(wěn)定的低速率控制LFS陰極，可以控制nm級的膜厚。

·小型裝置布局1在Chamber中收納多個陰極，且設(shè)計緊湊?？蛇M行斜射布局，co-sputer/多層疊層膜。

用途

·研究開發(fā)、實驗裝置、低損傷成膜。同時成膜。多層成膜。飛濺粒子能量控制。低速率控制。極薄膜成膜。低溫飛濺。氧化物、金屬成膜。

規(guī)格

	MPS-8000-C8
陰極搭載數(shù)	最多8座
均勻磁場施加機構(gòu)	選項
到達壓力	7x10Pa以下-7
基板尺寸	Max.直徑200mm
氣體導入量	Ar : 50sccm
目標大小	直徑50mm
操作	PC（GPCS系列）控制
準備室	標準裝備
成膜室排氣系統(tǒng)	渦輪分子泵
裝置尺寸W×D×H	3700mm x 4700mm x 2500mm