特長(zhǎng)
·以本公司以往的ENTRON-W300/W200系列為基礎(chǔ),以提高生產(chǎn)性為主要目的進(jìn)行了改良的機(jī)型。TM
·最多可搭載8個(gè)過(guò)程(PVD、ALD、CVD、etc.)、+2(Degas、Cool)模塊。
·搭載本公司生產(chǎn)的新型搬運(yùn)機(jī)器人,實(shí)現(xiàn)了機(jī)械吞吐量100wph以上。
·準(zhǔn)備專用過(guò)程或迷你家庭的S-type(單類型)和對(duì)應(yīng)大型家庭的T-type(串聯(lián)型),靈活應(yīng)對(duì)客戶的生產(chǎn)計(jì)劃。
·可搭載監(jiān)視、管理裝置運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的ED-POS系統(tǒng)和非接觸膜厚測(cè)量裝置MESEC-BIT。
用途
·的半導(dǎo)體制造裝置