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      單葉式等離子體CVD裝置CMD

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準
      • 公司名稱青島益嘉元科貿(mào)有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地青島市
      • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
      • 更新時間2024/8/9 11:19:07
      • 訪問次數(shù)67
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      青島益嘉元科貿(mào)有限公司是專業(yè)經(jīng)營各類進口機械設(shè)備,儀器儀表及各種配件的一站式進口產(chǎn)品綜合服務(wù)商.
          優(yōu)秀的產(chǎn)品和完善的服務(wù)是我司努力的目標,希望能為客戶提供更好的選擇.
          我司主要代理BACHARACH鹵素檢漏儀H25-IR,冷媒回收機,冷媒分析儀;愛發(fā)科ULVAC-氦質(zhì)譜檢漏儀;愛發(fā)科ULVAC-真空計;愛發(fā)科ULVAC-真空泵;新機械NEW-MACHINE-快速接頭;神港精機SHINKO SEIKI-真空泵;淺野ASANO-真空成型機;*CONTEC-板卡,工控機;大進DAISHIN-自動焊接機,點火器;松村MORESCO-潤滑油;出光IDEMITSU-潤滑油;共和KYOWA-應(yīng)變測試儀,應(yīng)變片;大和DAIWA-防銹劑,那智不二越NACHI-焊接機器人,搬運機器人等產(chǎn)品.
          我們將竭誠為您提供快捷全面的服務(wù).

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      CMD系列是使用SiH和TEOS的a-Si膜、硅氧化膜、氮化膜成膜用枚葉式CVD裝置。
      單葉式等離子體CVD裝置CMD 產(chǎn)品信息

      特長

      ·與以往的工藝溫度相比,通過開發(fā)可在高溫下運行的各單元驅(qū)動系統(tǒng)、真空輸送機器人,實現(xiàn)了穩(wěn)定的輸送系統(tǒng)。

      ·通過改進反應(yīng)室內(nèi)部結(jié)構(gòu)和供氣系統(tǒng),可獲得TEOSSiO)膜的長期穩(wěn)定速率。2

      ·通過加熱反應(yīng)氣體路徑,可以將排除設(shè)備以氣體狀態(tài)排出,未使用管道陷阱時,可以抑制副產(chǎn)品附著在管道等上,縮短維護時間。

      ·可輕松進行成膜條件等基板個別管理。

      用途

      ·低溫P-Si、α-Si TFT

      關(guān)鍵詞:機器人
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