采用LCD觸摸屏,可以更加簡便地設(shè)定加工條件
可處理較厚或較大的樣品(選配件)
記憶功能可存儲常用加工條件
*1: 噴鍍速率僅供參考
*2: 主機內(nèi)不包括靶材。請從選項中選擇(鉑,鉑-鈀,金,金-鈀)。
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