典型應(yīng)用:顯微成像、激光加工、光學(xué)測量、表面檢測、半導(dǎo)體加工。
納米位移系統(tǒng)的應(yīng)用越來越廣泛,從原子力顯微鏡、精密光學(xué)設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備到各種行業(yè)。納米位移系統(tǒng)能夠產(chǎn)生和測量優(yōu)于納米(nm)的位移,整個(gè)系統(tǒng)包含3部分:納米位移臺(tái)、控制器和控制軟件。
納米位移臺(tái)是一種機(jī)械裝置,內(nèi)部有一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷,由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動(dòng)。三英設(shè)計(jì)和制造的納米位移臺(tái)使用柔性鉸鏈將技術(shù)將運(yùn)動(dòng)裝置連接到固定基座上。納米位移臺(tái)內(nèi)置精密傳感器,閉環(huán)控制時(shí),三英的傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下,可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別、亞納米級(jí)別的分辨率。
控制器為納米位移臺(tái)提供電源。在閉環(huán)控制時(shí),納米位移臺(tái)內(nèi)部的傳感器為控制器提供位移數(shù)據(jù)??刂破髦芷谛缘奶幚砦灰茢?shù)據(jù)并修正輸出電壓信號(hào),從而使位移數(shù)據(jù)與指令數(shù)據(jù)相同。
三英提供簡單易用的軟件。納米位移系統(tǒng)通常作為大型設(shè)備的一個(gè)部件,因而納米位移系統(tǒng)與其他硬件良好配合是相當(dāng)重要的。三英控制器對(duì)外通信方式有多種,常用的方式是通過BNC模擬信號(hào)(-10V~10V)控制納米位移臺(tái)的位移。還可以通過USB接口和數(shù)字IO實(shí)現(xiàn)與控制器的通信。三英控制器內(nèi)部軟件實(shí)現(xiàn)了基于PID算法、陷波濾波器的閉環(huán)控制,內(nèi)部集成了正弦波、方波和三角波的波形發(fā)生器。
如有客戶需求,三英可以對(duì)納米位移運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)進(jìn)行量身定制,以提供及時(shí)、滿意的技術(shù)支持與服務(wù)。
型號(hào) | NS-XY400Z100-01 |
運(yùn)動(dòng)軸 | X/Y/Z |
傳感器類型 | 電容式 |
閉環(huán)行程( μm ) | 400/400/100 |
閉環(huán)分辨率( nm ) | 1.5/1.5/0.5 |
線性度( % ) | 0.02/0.02/0.04 |
無負(fù)載下諧振頻率( Hz ) | 200/200/700 |
端口 | D-sub15 |
材料 | 鋁合金 |
負(fù)載( kg ) | 0.5 |
自重( kg ) | 1.64 |
尺寸( mm ) | 170 x 170 × 30 |
適配控制器 | SC100-A/SC300-3/SC400-3 |
注:閉環(huán)分辨率與帶寬有關(guān)。
NS-XY400Z100-01尺寸圖