典型應(yīng)用:激光加工、激光瞄準(zhǔn)、遠(yuǎn)距離通訊、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)。
高速偏擺鏡采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),內(nèi)部使用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu),采用有限方針?lè)治鰞?yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),緊湊的差分并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,且具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)。高速偏擺鏡內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,確保了高速偏擺鏡具有的運(yùn)動(dòng)控制精度,定位精度,分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí),緊湊型設(shè)計(jì),可以更好的集成于光學(xué)系統(tǒng)。
壓電偏擺鏡 快反鏡 壓電偏轉(zhuǎn)鏡 壓電偏擺臺(tái) 壓電精瞄鏡 壓電傾斜鏡 超高速偏擺臺(tái) 大口徑偏擺鏡
型號(hào) | NS-RBX4Y6-01 |
運(yùn)動(dòng)軸 | θxθy(Tip/Tilt) |
傳感器類(lèi)型 | 電容式 |
閉環(huán)行程( mrad ) | θx:4 θy:6 |
閉環(huán)分辨率( μrad ) | 0.08 |
線性度( % ) | 0.2 |
無(wú)負(fù)載下諧振頻率( Hz ) | 1000 |
帶負(fù)載諧振頻率( Hz )( 200g ) | 500 |
電壓范圍 (V) | -30~150 |
端口 | D-sub15 |
材料 | 銦鋼(航空鋁可選) |
負(fù)載(g) | 500 |
自重( kg ) | 2.3 |
尺寸( mm ) | 130 × 130× 94.5 |
適配控制器 | SC300-3/SC400-3 |
注:閉環(huán)分辨率與帶寬有關(guān)。
NS-RBX4Y6-01尺寸圖