三英精控納米臺(tái)特點(diǎn)
平:得益于的硬件設(shè)計(jì),有效地減少三維偶聯(lián)影響,保證納米臺(tái)全行程的平整度。
準(zhǔn):電容傳感器的應(yīng)用及的控制模式和算法,保證納米臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。
穩(wěn):優(yōu)異的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以及優(yōu)良的電容傳感器特性,保證了納米臺(tái)長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定性。
NS-X20-01X軸納米定位臺(tái)典型應(yīng)用:
顯微成像、光學(xué)移相、生物材料分析、光學(xué)、光柵刻寫(xiě)、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)、測(cè)量、激光領(lǐng)域、半導(dǎo)體加工。
納米位移系統(tǒng)的應(yīng)用越來(lái)越廣泛,從原子力顯微鏡、精密光學(xué)設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備到各種行業(yè)。納米位移系統(tǒng)能夠產(chǎn)生和測(cè)量?jī)?yōu)于納米(nm)的位移,整個(gè)系統(tǒng)包含3部分:納米位移臺(tái)、控制器和控制軟件。
納米位移臺(tái)是一種機(jī)械裝置,內(nèi)部有一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷,由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動(dòng)。三英設(shè)計(jì)和制造的納米位移臺(tái)使用柔性鉸鏈將技術(shù)將運(yùn)動(dòng)裝置連接到固定基座上。納米位移臺(tái)內(nèi)置精密傳感器,閉環(huán)控制時(shí),三英的傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下,可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別、亞納米級(jí)別的分辨率。
控制器為納米位移臺(tái)提供電源。在閉環(huán)控制時(shí),納米位移臺(tái)內(nèi)部的傳感器為控制器提供位移數(shù)據(jù)。控制器周期性的處理位移數(shù)據(jù)并修正輸出電壓信號(hào),從而使位移數(shù)據(jù)與指令數(shù)據(jù)相同。
三英提供簡(jiǎn)單易用的軟件。納米位移系統(tǒng)通常作為大型設(shè)備的一個(gè)部件,因而納米位移系統(tǒng)與其他硬件良好配合是相當(dāng)重要的。三英控制器對(duì)外通信方式有多種,常用的方式是通過(guò)BNC模擬信號(hào)(-10V~10V)控制納米位移臺(tái)的位移。還可以通過(guò)USB接口和數(shù)字IO實(shí)現(xiàn)與控制器的通信。三英控制器內(nèi)部軟件實(shí)現(xiàn)了基于PID算法、陷波濾波器的閉環(huán)控制,內(nèi)部集成了正弦波、方波和三角波的波形發(fā)生器。
如有客戶需求,三英可以對(duì)納米位移運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)進(jìn)行量身定制,以提供及時(shí)、滿意的技術(shù)支持與服務(wù)。
納米定位平臺(tái) 納米位移臺(tái) 柔性鉸鏈平臺(tái) 電控位移臺(tái) 高精度電控位移臺(tái) 精密滑臺(tái) 壓電平臺(tái) 壓電納米臺(tái) 納米壓電平臺(tái) 納米定位臺(tái) 壓電柔性鉸鏈平臺(tái) 壓電掃描臺(tái) 壓電定位臺(tái) 壓電納米定位臺(tái) 超低溫納米定位臺(tái)
型號(hào) | NS-X20-01 |
運(yùn)動(dòng)軸 | X |
傳感器類(lèi)型 | 電容式 |
閉環(huán)行程( μm ) | 20 |
閉環(huán)分辨率( nm) | 0.1 |
線性度( % ) | 0.03 |
無(wú)負(fù)載下諧振頻率( Hz ) | 5000 |
端口 | D-sub15 |
材料 | 鋁合金 |
負(fù)載( kg ) | 1 |
自重( kg ) | 0.08 |
尺寸( mm ) | 40 x 54 x 15.5 |
適配控制器 | SC100-A/SC300-1/SC400-1 |
注:閉環(huán)分辨率與帶寬有關(guān)。
NS-X20-01尺寸圖
