NNS-Z200RXY2-01 高精度三維納米定位平臺
NNS-Z200RXY2-01是一款高精度納米運動平臺。集成Z軸和Rx/Ry在一起,結(jié)構(gòu)緊湊。電容傳感器全閉環(huán)控制,精度高。大通孔設(shè)計,陽極氧化黑工藝,滿足多場景應(yīng)用。
典型應(yīng)用
• 光學(xué)對準(zhǔn) • 樣品對準(zhǔn)
• 集成光學(xué) • 光學(xué)測量
• 納米定位 • 精密加工
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NNS-Z200RXY2-01 高精度三維納米定位平臺
NNS-Z200RXY2-01是一款高精度納米運動平臺。集成Z軸和Rx/Ry在一起,結(jié)構(gòu)緊湊。電容傳感器全閉環(huán)控制,精度高。大通孔設(shè)計,陽極氧化黑工藝,滿足多場景應(yīng)用。
典型應(yīng)用
• 光學(xué)對準(zhǔn) • 樣品對準(zhǔn)
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