MF5700系列氣體質(zhì)量流量計(jì)是基于廣州海倫儀器儀表有限公司自主研制的MEMS流量傳感芯片,其原理是利用流動(dòng)氣體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系,在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而 得到氣體的質(zhì)量流量。
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