高解析度FEB測量裝置CS4800(CD-SEM)
適用于對應(yīng)4、6、8英寸晶圓的測量SEM
搭載日立技術(shù)的CD-SEM CS4800兼容4、6、8英寸晶圓的CD測量,提供高解析度的SEM成像,更高的測量精度和快速自動化操作,將有助于提高客戶現(xiàn)有生產(chǎn)線的生產(chǎn)力。此外用戶可以通過簡單的操作處理自動搬送兩種不同尺寸的晶圓。 日立計劃支持對應(yīng)碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)等各種材料的晶圓,以滿足客戶對半導(dǎo)體電子器件生產(chǎn)的多樣化需求。
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特長
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規(guī)格
特長
- 考慮了更換現(xiàn)有設(shè)備或共同使用情況下的設(shè)備占地面積和GUI*1
- 通過設(shè)備的研發(fā)經(jīng)驗,搭載了高精度測量技術(shù)和的計量應(yīng)用。
- 通過光學(xué)軸自動化調(diào)整,減少了由于操作員熟練度而造成的測量偏差。
- 更高的圖像處理技術(shù),實現(xiàn)Recipe自動測量并提高產(chǎn)能。
- 新的晶圓搬送系統(tǒng)兼容4,6,8英寸多尺寸晶圓。
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- GUI (Graphic User Interface):使用計算機的圖形顯示器和鼠標(biāo)等指示設(shè)備的軟件操作系統(tǒng)。
規(guī)格
測量精度 | 1nm(3σ)(采用日立標(biāo)準(zhǔn)晶圓) |
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晶圓尺寸 | 直徑 100mm, 150mm, 200mm |
自動裝片裝置 | 2個 |
設(shè)備尺寸(主體) | 1180(寬)× 2500(長)× 1990(高)毫米 |