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      高解析度FEB測量裝置CS4800(CD-SEM)

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱日立集團
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時間2024/7/18 13:27:50
      • 訪問次數(shù)363
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      日立的企業(yè)宣言“Inspire the Next”代表著日立為社會奉獻,為新時代注入新活力的決心,以成為“解決方案合作商”為目標(biāo),為實現(xiàn)富有而便利的生活做出自己的貢獻。日立以集團愿景為行動方針,融合投入事業(yè)的極大熱情與專業(yè)能力,力爭在激烈的競爭環(huán)境中脫穎而出。
      適用于對應(yīng)4、6、8英寸晶圓的測量SEM搭載日立技術(shù)的CD-SEM CS4800兼容4、6、8英寸晶圓的CD測量,提供高解析度的SEM成像,更高的測量精度和快速自動化操作,將有助于提高客戶現(xiàn)有生產(chǎn)線的生產(chǎn)力。此外用戶可以通過簡單的操作處理自動搬送兩種不同尺寸的晶圓。 日立計劃支持對應(yīng)碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)等各種材料的晶圓,以滿足客戶對半導(dǎo)體電子器件生產(chǎn)的多樣化需求。
      高解析度FEB測量裝置CS4800(CD-SEM) 產(chǎn)品信息

      高解析度FEB測量裝置CS4800(CD-SEM)

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      高解析度FEB測量裝置CS4800(CD-SEM)

      適用于對應(yīng)4、6、8英寸晶圓的測量SEM

      搭載日立技術(shù)的CD-SEM CS4800兼容4、6、8英寸晶圓的CD測量,提供高解析度的SEM成像,更高的測量精度和快速自動化操作,將有助于提高客戶現(xiàn)有生產(chǎn)線的生產(chǎn)力。此外用戶可以通過簡單的操作處理自動搬送兩種不同尺寸的晶圓。 日立計劃支持對應(yīng)碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)等各種材料的晶圓,以滿足客戶對半導(dǎo)體電子器件生產(chǎn)的多樣化需求。

      • 特長

      • 規(guī)格

      特長

      • 考慮了更換現(xiàn)有設(shè)備或共同使用情況下的設(shè)備占地面積和GUI*1
      • 通過設(shè)備的研發(fā)經(jīng)驗,搭載了高精度測量技術(shù)和的計量應(yīng)用。
      • 通過光學(xué)軸自動化調(diào)整,減少了由于操作員熟練度而造成的測量偏差。
      • 更高的圖像處理技術(shù),實現(xiàn)Recipe自動測量并提高產(chǎn)能。
      • 新的晶圓搬送系統(tǒng)兼容4,6,8英寸多尺寸晶圓。
      *1
      GUI (Graphic User Interface):使用計算機的圖形顯示器和鼠標(biāo)等指示設(shè)備的軟件操作系統(tǒng)。

      規(guī)格

      規(guī)格
      測量精度 1nm(3σ)(采用日立標(biāo)準(zhǔn)晶圓)
      晶圓尺寸 直徑 100mm, 150mm, 200mm
      自動裝片裝置 2個
      設(shè)備尺寸(主體) 1180(寬)× 2500(長)× 1990(高)毫米
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