大理石工作臺面# 導軌系統(tǒng)# 方立柱系統(tǒng)# 數(shù)字傳感器# 水平調整系統(tǒng)# 回轉及角度調試系統(tǒng)# 平口裝夾系統(tǒng)# 校正標準件一套# Φ3*21mm R0.025mm 斜測針# Φ8*150mm 測桿# 電器控制系統(tǒng)# 電腦# HP噴墨打印機# 測量軟件
項目 Item | 參數(shù) Parameter | |
測量范圍 Measurement range | X軸axis | 100mm |
| Z1(傳感器)Sensor | 40mm |
| 高度Height | 400mm |
測量精度 Measurement Accuracy | X軸 (L=X軸移動導軌距離) (L=X moving distance) | ±(1.5 +0.2L/100)μm |
| Z1軸 (H=Z1軸方向測量高度) (H=Z1meas. Height) | ±(1.2+0.3H/100)μm |
| 角度 | ≤±2′ |
| 半徑R≤10mm | ±1.5μm |
X軸 X | 直線度Straightness | 0.8μm /100mm |
| 分辨率Resolution | 0.2μm |
| 產地Origin | 美國MicroE (America) |
傳感器 Sensor | 類型 Type | 光柵傳感器 Digital grating sensor |
| 分辨率Resolution | 0.1μm |
| 產地Origin | 美國MicroE (America) |
爬坡角度Climbing Ability | 上升77°(Upside), 下降88°(Downside) | |
測量速度Meas. Speed | 0.02mm至4.0mm/s | |
測量方式Meas. Mode | 傳感器移動Sensor moving | |
電源Power | AC 220V±10% 50Hz | |
環(huán)境要求Environmental conditions | 溫度(T):10~30℃;相對濕度(RH):<85% |