適合潔凈干燥制成的真空解決方案

普發(fā)真空的多級(jí)羅茨泵廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域，提供潔凈干燥的真空環(huán)境

例如，在例子加速器中，小型 ACP羅茨泵能制造渦輪分子泵所需的前級(jí)真空。具有抽速高、最終壓力低等特點(diǎn)的大型 ACP 120可用于冷凍干燥行業(yè)。A 100、A3P 或 A4 系列干泵則在半導(dǎo)體和真空鍍膜行業(yè)中被大量地用作工藝用泵。所有這些領(lǐng)域都有一個(gè)共同特點(diǎn)：它們均需要潔凈和干燥的真空環(huán)境。針對(duì)該要求，多級(jí)羅茨泵技術(shù)提供了的解決方案。無(wú)摩擦的真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)模式，使轉(zhuǎn)子和定子之間無(wú)需使用潤(rùn)滑油和密封材料。從而避免碳?xì)錃怏w的回流。在泵的吸入腔，不會(huì)發(fā)生密封件磨損現(xiàn)象。這意味著泵內(nèi)無(wú)任何顆粒物，具有長(zhǎng)期可靠而穩(wěn)定的優(yōu)異性能，這將極大降低產(chǎn)品的運(yùn)營(yíng)成本。

多級(jí)羅茨泵在清潔工藝中的使用范圍

ACP系列中的氣冷多級(jí)羅茨泵保養(yǎng)間隔時(shí)間長(zhǎng)，其穩(wěn)定可靠的性能使其脫穎而出。它們可用于分析應(yīng)用行業(yè)、半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子清洗的潔凈工藝中。A 100 L緊湊型羅茨泵因其較小的尺寸而可以輕松地集成到系統(tǒng)中。半導(dǎo)體和光伏生產(chǎn)系統(tǒng)的 Load locks 與傳送艙是該類(lèi)泵的典型應(yīng)用領(lǐng)域。帶有水冷裝置的羅茨多級(jí)泵 ACP 120系列真空泵是由結(jié)實(shí)的壓鑄金屬制成。正如羅茨真空泵組 ACG 600，它們經(jīng)常被用于抽速要求較高的研發(fā)、真空鍍膜和冶金行業(yè)。

腐蝕性的工藝不是問(wèn)題

A3P系列多級(jí)羅茨泵是專(zhuān)為半導(dǎo)體和光伏生產(chǎn)的中型工藝應(yīng)用而開(kāi)發(fā)的，在此類(lèi)應(yīng)用中，必須傳輸少量的腐蝕性氣體或冷凝物。該泵具有緊湊、高能效的特點(diǎn)。低噪音和低震動(dòng)是該系列產(chǎn)品的突出優(yōu)點(diǎn)。抽速可高達(dá) 1,800 m3/h 的 A4系列真空泵，是由抗腐蝕材料制成的。良好的媒介耐受性及高氣流量，使這些多級(jí)羅茨泵成為半導(dǎo)體行業(yè) CVD 工藝應(yīng)用的解決方案。