概覽
- Simply the best AFM for automatic defect review and surface roughness measurement
- 對(duì)于媒介和基體領(lǐng)域的工程師而言,識(shí)別納米級(jí)缺陷是一個(gè)非常耗時(shí)的工作。Park NX-HDM原子力顯微鏡系統(tǒng)可借助數(shù)量級(jí)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)缺陷識(shí)別、掃描和分析,從而加快缺陷的檢查過(guò)程。Park NX-HDM可與眾多的光學(xué)檢查工具直接進(jìn)行連接,這就意味著自動(dòng)缺點(diǎn)檢查通量會(huì)大幅提高。此外,Park NX-HDM擁有精確的次埃米表面粗糙度測(cè)量功能。憑借著業(yè)內(nèi)極低的本底噪聲和的True Non-Contact™技術(shù),Park NX-HDM毫無(wú)疑問(wèn)是市面上表面粗糙度測(cè)量精確的原子力顯微鏡。
- Higher Throughput, Automatic Defect Review
- 對(duì)于媒介和基體領(lǐng)域的工程師而言,識(shí)別納米級(jí)缺陷是一個(gè)非常耗時(shí)的工作。Park NX-HDM原子力顯微鏡系統(tǒng)可借助數(shù)量級(jí)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)缺陷識(shí)別、掃描和分析, 從而加快缺陷的檢查過(guò)程。Park NX-HDM可與眾多的光學(xué)檢查工具直接進(jìn)行連接,這就意味著自動(dòng)缺點(diǎn)檢查通量會(huì)大幅提高。
- Sub-Angstrom, Surface Roughness Measurement
- 業(yè)內(nèi)對(duì)于超平媒介和基體的要求越來(lái)越高,所以需要滿足設(shè)備體積不斷減小的需求。此外,Park NX-HDM擁有精確的次埃米表面粗糙度測(cè)量功能。憑借著業(yè)內(nèi)極低的本底噪聲和的True Non-Contact™技術(shù),Park NX-HDM毫無(wú)疑問(wèn)是市面上表面粗糙度測(cè)量精確的原子力顯微鏡
應(yīng)用
- Automatic Defect Review for Media and Substrates
- Higher Throughput, Automatic Defect Review
- NX-HDM的自動(dòng)缺陷檢查功能(Park ADR)可加速和改良媒介和基體缺陷的識(shí)別、掃描和分析流程。借助光學(xué)檢查工具所提供的缺陷位置圖,Park ADR可自動(dòng)定位這些位置并進(jìn)行成像(分兩步):
(1) 縮小掃描成像,以準(zhǔn)確定位缺陷。
(2) 放大掃描成像,以獲取缺陷的細(xì)節(jié)。在真實(shí)缺陷測(cè)試中,我們可以看到相比于傳統(tǒng)的方法,該自動(dòng)功能可將缺陷檢查通量提高10倍。
- Automated Search Scan & Zoom-in Scan
- 經(jīng)過(guò)優(yōu)化的掃描參數(shù)讓兩步式掃描更為快速:
(1) 快速的低分辨率搜尋式掃描,來(lái)準(zhǔn)確定位缺陷。
(2) 高分辨率的放大掃描,來(lái)獲取缺陷的細(xì)節(jié)??烧{(diào)節(jié)的掃描尺寸和掃描速度參數(shù)能滿足用戶的所有需求。
- Automatic Transfer and Alignment of Defect Maps to AFM
- 借助的映射算法,從自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)(APO)工具中獲取的缺陷坐標(biāo)圖可準(zhǔn)確地傳入和映射至Park NX-HDM。該技術(shù)讓全自動(dòng)高通量缺陷成像成為可能。
- Map of Defect Coordinates from an Optical Inspection Tool
- Accurate Sub-Angstrom Surface Roughness Measurement
- Sub-Angstrom, Surface Roughness Measurement
- 業(yè)內(nèi)對(duì)于超平媒介和基體的要求越來(lái)越高,所以需要滿足設(shè)備體積不斷減小的需求。此外,Park NX-HDM擁有精確的次埃米表面粗糙度測(cè)量功能。憑借著業(yè)內(nèi)較低的本底噪聲和的True Non-Contact™技術(shù),Park NX-HDM毫無(wú)疑問(wèn)是市面上表面粗糙度測(cè)量精確的原子力顯微鏡。
- Accurate AFM Topography with Low Noise Z Detector
- True Sample Topography™ without piezo creep error
選配
- Automatic Measurement Control
- 自動(dòng)化軟件讓NX-HDM的操作不費(fèi)吹灰之力。測(cè)量程序針對(duì)懸臂調(diào)諧、掃描速率、增益和點(diǎn)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,為您提供多位置分析。自動(dòng)化軟件會(huì)按照測(cè)量文件中預(yù)設(shè)的程序進(jìn)行樣品測(cè)量。Park的用戶友好型軟件界面讓用戶可靈活執(zhí)行全系統(tǒng)功能。創(chuàng)建新測(cè)量文件只需要10分鐘左右的時(shí)間,而修改現(xiàn)有的測(cè)量文件則需要不到5分鐘的時(shí)間。
- Park NX-HDM具有:
自動(dòng)、半自動(dòng)和手動(dòng)模式
各自動(dòng)程序的可編輯測(cè)量方法
測(cè)量過(guò)程實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)
自動(dòng)分析所獲取的測(cè)量數(shù)據(jù)
- Ionization System
- 離子化系統(tǒng)可有效地消除靜電電荷。由于系統(tǒng)隨時(shí)可生產(chǎn)和位置正離子和負(fù)離子之間的理想平衡,便可以穩(wěn)定地離子化帶電物體,且不會(huì)污染周邊區(qū)域。它也可以消除樣品處理過(guò)程中意外生成的靜電電荷。