產(chǎn)品簡介

　　NX20型原子力顯微鏡是韓國PARK原子力顯微鏡公司功能很強大的工業(yè)級大尺寸原子力顯微鏡，這是一款全自動的原子力顯微鏡系統(tǒng)，掃描范圍達300mm*300mm，掃描分辨率0.02nm，集成了PARK公司技術(shù)“非接觸式工作模式”“智能掃描模式”“基于壓電陶瓷堆積技術(shù)的平板掃描器”，并標配快速掃描模式，變速掃描模式，多種測量模式可選，NX20型原子力顯微鏡被廣泛用于半導體，LCD，LED，OLED，硬盤等工業(yè)領(lǐng)域。

　　產(chǎn)品技術(shù)特色

　　(1）采用非接觸式工作模式：PARK公司是目前一家真正實現(xiàn)非接觸測量模式的原子力顯微鏡廠家，在不影響測量精度的前提下，可實現(xiàn)樣品與針尖的非接觸測量，避免了由于針尖磨損帶來測量重復性差與探針磨損快的缺點。

　　下圖是測量CrN樣品的實例，CrN樣品的硬度很高，具有三角形結(jié)構(gòu)，采用非接觸模式測量100幅圖后，圖像質(zhì)量幾乎無變化，針尖幾乎無磨損?。。?/p>

　　(2）探測器噪聲水平為業(yè)界：0.02nm。Z軸探測器是全新的NX系列原子力顯微鏡的核心技術(shù)改進之一,它是Park的新型應變傳感器,憑借著0.2埃的超低噪聲，它一躍成為行業(yè)內(nèi)噪聲的Z軸探測器,檢測原子臺階及其容易。

　　(3）采用高性能平板掃描器：采用技術(shù)得三軸分離的平板掃描器，在整個80μm的掃描范圍內(nèi)誤差＜1nm !!!!

　　(4）操作極其簡單：

　　- 具有“智能掃描模式”Smart scan：這是PARK公司的技術(shù)之一，用戶只需要選擇掃描速度及掃描范圍，系統(tǒng)即可自動調(diào)整反饋,無需尋找共振峰,無需調(diào)整反饋參數(shù)gain值

　　- 具有中文，英文等多種操作界面

　　- 憑借著我們的預準直懸臂架，懸臂在裝載時激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同軸視角（行業(yè)無二）讓您可以輕松地找到激光光點。由于激光垂直照射在懸臂上，您可以憑直覺旋動兩個定位旋鈕，將激光光點隨著X軸和Y軸移動。這樣，您可以在激光準直界面中，輕易地找到激光并將其定位在PSPD上。此時，您只需要稍作調(diào)整實現(xiàn)信號的，便可開始獲取數(shù)據(jù)。

　　(5）具有非常廣泛的原子力顯微鏡模式：

　　(6）工業(yè)級別的XEA軟件：具有自動識別，自動掃描，自動分析功能，大大節(jié)約了人工操作的誤差及浪費的時間。

　　(7）導電原子力顯微鏡：

　　Park導電原子力顯微鏡在市場中競爭力很強，不但有著全行業(yè)的電流噪聲，且增益范圍也是，并且可實現(xiàn)電流快速掃描功能，是半導體測試電流的標準。

　　- 業(yè)內(nèi)的電流噪聲(50fA)

　　- 業(yè)內(nèi)的電流(10mA)

　　主要技術(shù)參數(shù)

　　- XY閉環(huán)掃描范圍大：達100μm*100μm

　　- Z向閉環(huán)掃描范圍大：達15μm

　　- 超高的測量分辨率：可達0.02nm

　　- 全自動掃描范圍：150mm*150mm（200mm*200mm，300mm*300mm）

　　- 具有快速掃描功能：達50Hz

　　部分測試實例

　　PARK公司科研級原子力顯微鏡選型指南：

　　- XE7型原子力顯微鏡：低預算客戶的理想選擇

　　- NX10型原子力顯微鏡：科研級客戶及工業(yè)檢測實驗室的

　　- NX-Hivac真空型原子力顯微鏡：高分辨及保障無氧無水環(huán)境

　　- NX12型生物型原子力顯微鏡：神經(jīng)學，生物細胞檢測及藥物檢測，單細胞通道客戶的理想選擇

　　- XE15型大樣品原子力顯微鏡：大尺寸樣品及工業(yè)檢測實驗室的

　　- NX20型大樣品原子力顯微鏡：大尺寸樣品，工業(yè)檢測實驗室及在線檢測的

　　- 工業(yè)級原子力顯微鏡歡迎來電詳細咨詢！