CryLaS 266nm單縱模深紫外連續(xù)激光器參數(shù)
Model | Wavelength | Max. Power | Power Stability | Beam Propagation Factor M2 |
---|---|---|---|---|
FQCW266-10-C | 266 nm | > 10 mW | ≤ 2.0 %rms | ≤ 1.3 |
FQCW266-10 | 266 nm | > 10 mW | ≤ 2.0 %rms | ≤ 1.3 |
FQCW266-25-C | 266 nm | > 25 mW | ≤ 2.0 %rms | ≤ 1.3 |
FQCW266-25 | 266 nm | > 25 mW | ≤ 2.0 %rms | ≤ 1.3 |
FQCW266-50 | 266 nm | > 50 mW | ≤ 1.0 %rms | ≤ 1.3 |
FQCW266-100 | 266 nm | > 100 mW | ≤ 1.0 %rms | ≤ 1.3 |
FQCW266-200 | 266 nm | > 200 mW | ≤ 1.0 %rms | ≤ 1.3 |
FQCW266-300 | 266 nm | > 300 mW | ≤ 0.5 %rms | ≤ 1.3 |
FQCW266-500 | 266 nm | > 500 mW | ≤ 0.5 %rms | ≤ 1.3 |
DPSS 266nm單縱模深紫外連續(xù)激光器單頻CW激光器配有諧振頻率轉(zhuǎn)換級(jí),發(fā)射固定波長為266 nm。激光頭裝在密封的鋁制外殼內(nèi),可在各種環(huán)境條件下工作。激光頭的熱量通過空氣對(duì)流完成,不需要其他設(shè)備(冷卻器,風(fēng)扇等)。DPSS 266nm單縱模深紫外連續(xù)激光器單頻CW激光器在266nm單頻工作下可提供高達(dá)500 mW的功率。與266納米的其他CW激光器相比,深紫外266系統(tǒng)具有超過1000米的長相干長度,窄線寬(<300 kHz),低功耗,占用空間小。CW-266即插即用激光器帶有一個(gè)控制單元,可通過串行(RS232和USB)接口實(shí)現(xiàn)按鈕控制或遙控操作。激光器M2低于1.3,光束發(fā)散度低于0.8 mrad(全角),強(qiáng)度噪聲低于0.5%rms(100 kHz-10 MHz),具有良好的功率穩(wěn)定性(8小時(shí)內(nèi)<1%),提供出色的光束質(zhì)量。這些266nm單縱模深紫外CW激光器適用于需要長相干長度的拉曼光譜,晶圓檢測(cè)和光致發(fā)光等應(yīng)用。
FQCW266 系列可在三個(gè)不同的平臺(tái)上提供 10 mW 至 1000 mW 的功率。根據(jù)應(yīng)用需求,八個(gè)功率級(jí)別可供選擇的激光設(shè)計(jì)。頻率四倍的CW DPSS激光器始終配備電源,控制單元和軟件。這些UV CW激光器提供出色的光束質(zhì)量和性能,旨在滿足工業(yè)用途和密集型研發(fā)的挑戰(zhàn)性需求。
產(chǎn)品特性:
- – 即插即用
- – 密封堅(jiān)固設(shè)計(jì)
- – 高光束質(zhì)量
- – 閉環(huán)控制可調(diào)輸出功率的
- – 低噪聲、長相干長度
- – 單頻運(yùn)行
- – 用戶友好操作界面
- – 窄線寬<300 kHz
典型應(yīng)用
- – 光刻
- – 干涉術(shù)
- – 光致發(fā)光
- – 拉曼光譜
- – 晶圓和光標(biāo)檢查