序號
內容
1
X,Y和Z軸線性刻度分辨率:0.5μm
2
電動Z軸分辨率:0.1μm
3
自動測量高度
4
置光學模塊,用于測量偏振光
5
高速/非接觸式測量
6
提供同軸表面光測量或底部光測量
7
可以與白光納米測量模塊配套使用,以測量納米級厚度的物體
8
該儀器具有兩個瞄準系統(tǒng):電視圖像和視覺光學系統(tǒng),可用于觀察金屬表面的金相結構
9
儀器主要是適用于2D測量,有時也適用于3D輔助測量
10
它廣泛用于制造領域,例如電子零件,精密模具,精密工具,塑料,PCB等。
型號 | MTM-3020MA | ||||
工作臺 | 金屬桌尺寸 (mm) | 500 x 330 | |||
玻璃桌尺寸 (mm) | 350 x 250 | ||||
X, Y-軸行 (mm) | 300 x 200 | ||||
手動Z軸行程 (mm) | 120 | ||||
Z軸自動行進 (mm) | 2 | ||||
儀器尺寸 (mm) | 825 x 660 x 910 | ||||
重量 (kg) | 130 | ||||
解析度 (μm) | 0.5 | ||||
電動Z軸分辨率 (μm) | 0.1 | ||||
指示錯誤 (μm) | E=( 2.5+ L/100) μm (L 是被測物體的長度。單位: mm) | ||||
鏡頭倍率誤差 | <=0.08% (包括失真) | ||||
透射照明 | 鹵素燈亮度可調 | ||||
底部照明 | 亮度可調的LED | ||||
目鏡系統(tǒng) | 影像系統(tǒng) | ||||
鏡頭倍率 | 5X, 10X, 20X, 50X | 5X, 10X, 20X, 50X; 10X Mirau lens | |||
目鏡倍率 | 10X dual lens cone | 1/2"CCD camera | |||
總放大倍率 | 50X ~500X | 142.5X ~1425X (19.5英寸顯示屏。 分辨率:1440 x 900 | |||
單層透明測厚模塊 | |||||
高分辨率模式 | 快速模式 | ||||
測量范圍 | 100nm ~300nm | 300nm ~500nm | 500nm ~3μm | 3μm ~20μm | |
解析度 | 5nm | 5nm | 7.5nm | 0.1μm |