?。瘢┠ず穹秶?0-600
**組:30+/-0.00250+/-0.00275+/-0.002100+/-0.003
第二組:125+/-0.003150+/-0.004200+/-0.004250+/-0.005
第三組:300+/-0.006400+/-0.008500+/-0.010600+/-0.012
制式:3組一套,可制備12種膜厚
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