狹縫模頭涂層是一種的薄膜沉積技術(shù),該技術(shù)是稱為“計(jì)量涂層技術(shù)”的一類涂層技術(shù)的一部分,其中沉積層的厚度取決于溶液流速和基材移動(dòng)的速度。集成的高精度注射泵可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確且可重現(xiàn)的流速,這對(duì)于控制薄膜厚度至關(guān)重要。此外,載物臺(tái)包含一個(gè)加熱元件,可將基板加熱至 100°C。狹縫模頭由不銹鋼制成,確保與多種化學(xué)品兼容。頭部的內(nèi)部設(shè)計(jì)使用簡單的管道將溶液均勻分布在整個(gè)涂層寬度上,從而使厚度變化最小。
刮膜頭的材質(zhì) | 不銹鋼 |
的設(shè)計(jì)提供靈活的涂層寬度 | 15-25mm(默認(rèn)涂層寬度:25 mm) |
刮膜頭墊片的厚度 | 100μm |
魯爾鎖適配器 | 不銹鋼 M5 到 Luer 鎖適配器 |
載物臺(tái)溫度 | 100℃ |
行程 | 100 mm |
載物臺(tái)速度 | 100 μm/s |
載物臺(tái)速度 | 50 mm/s |
舞臺(tái)平面度 | <20 μm |
載物臺(tái)表面粗糙度 | 3 μm |
基材厚度 | 20 mm |
最小注射器分配率 | 1mL 注射器為 0.021 µL/s |
注射器分配率 | 1 mL/s 軟件限制 |
適用于研發(fā)到小批量試制、中試放大過程中的涂布試驗(yàn)、墨水調(diào)試、工藝研究、小規(guī)模制樣研發(fā)等;實(shí)驗(yàn)室薄膜類樣品的小批量制備。