研究樣品變溫電學性能測試而設(shè)計的產(chǎn)品可表征樣品電學性能隨溫度變化的特征。
1、溫度穩(wěn)定性: <0.05 °C
2、結(jié)構(gòu)緊湊,可兼容多種厚度的樣品測試
3、被測樣品厚度范圍:10 μm ~ 2 mm
4、溫度范圍: -50 ~ 150 °C
5、氣密腔室設(shè)計,可通保護氣體可升級真空腔室,0.01 mbar
6、上位機控制
7、上位機軟件控制支持改動或定制
溫度 | 150 ℃ |
溫度 | -50 ℃ |
升溫速率 | 30 ℃/min |
降溫速率 | 30 ℃/min |
溫度穩(wěn)定性 | <0.05 ℃ |
溫度分辨率 | 0.01 ℃ |
溫度傳感器 | PT100鉑電阻 |
控溫方式 | PID動態(tài)調(diào)節(jié) |