Verifire Asphere plus

高性能、靈活和精確的非球面計(jì)量學(xué)

      非球面光學(xué)器件在成像、傳感和激光系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和實(shí)施方面有很大的優(yōu)勢，這些行業(yè)包括國防和航空航天、半導(dǎo)體曝光和檢查系統(tǒng)以及醫(yī)療成像系統(tǒng)。

      非球面光學(xué)器件在成像、傳感和激光系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和實(shí)施方面有很大的優(yōu)勢，這些行業(yè)包括國防和航空航天、半導(dǎo)體曝光和檢查系統(tǒng)以及醫(yī)療成像系統(tǒng)。

      Verifire Asphere+ (VFA+)利用Fizeau干涉儀的優(yōu)勢，為軸對稱非球面提供的精確、高分辨率、快速和全孔徑計(jì)量組合。

      VFA+提供了一個靈活的計(jì)量平臺，只需改變透射球體就能測量一系列軸對稱非球體。VFA+配備了一個可選的二級平臺，支持計(jì)算機(jī)生成全息圖（CGH），將非球面形狀的能力擴(kuò)展到非對稱自由曲面和離軸非球面光學(xué)。

      新產(chǎn)品! 注重提高用戶體驗(yàn)，您可以輕松設(shè)置新的測量，瀏覽測量數(shù)據(jù)和結(jié)果，并診斷生產(chǎn)問題。Mx™軟件能夠?qū)崿F(xiàn)高效的研發(fā)和原型設(shè)計(jì)階段，并通過簡單的一鍵設(shè)置、對準(zhǔn)和測量功能改善生產(chǎn)應(yīng)用。

      Verifire™ MST 可對光學(xué)元件和鏡頭系統(tǒng)的表面形貌和透射波前進(jìn)行高精度測量。它是一個可以同時測量多個表面形貌的商用干涉儀系統(tǒng)，可以保持相對表面信息，并快速提供多個表面的結(jié)果。

主要特點(diǎn)

●   同時進(jìn)行表面和波前表征，還可進(jìn)行精確的面與面之間的測量，如 TTV 和楔角

●   薄至 0.5 mm 的測試樣件的表面形貌和厚度分析

●   廣泛的橫向分辨率，包括像素限制的光學(xué)設(shè)計(jì)，可提供的 ITF

●   1.2k x 1.2k（包括分立變焦，可實(shí)現(xiàn)高達(dá) 3 倍的光學(xué)變焦（適用于進(jìn)口干涉儀））

●   2.3k x 2.3k

●   3.4k x 3.4k

●   工作波長為 633 nm 到 1.053 μm、1.064 μm 和 1.55 μm

●   ZYGO 的 QPSI™ 采集技術(shù)，可在振動較常見的環(huán)境中實(shí)現(xiàn)可靠的測量，該技術(shù)現(xiàn)在可用于波長移相和多表面 FTPSI 數(shù)據(jù)采集

●   Ring of Fire火環(huán)偽影減少源為標(biāo)準(zhǔn)配置，可消除靶心并降低相干噪聲