- 快速亞 10 nm 結(jié)構加工
使用氖和氦離子束加工有超高精度要求的精細亞 10 納米結(jié)構。無論是使用濺射、氣體輔助切割、氣體輔助沉積或是光刻技術刻蝕材料,在亞 10nm 加工應用中 ORION NanoFab 均表現(xiàn)不凡。 - 集三種離子束顯微技術于一體三維顯微鏡
使用鎵聚焦離子束刻蝕大塊材料。利用精準的氖離子束快速完成微加工,利用氦離子束加工精細的亞 10 納米級結(jié)構。利用氦和氖離子還可以防止傳統(tǒng) FIB 鎵粒子注入引起的基體材料性質(zhì)變化。 - 高分辨率成像
借助 0.5 納米成像分辨率,它可在同一臺加工儀器中實現(xiàn)樣品的高分辨率成像。與使用場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)成像相比,其可獲得 5 至 10 倍的景深并和更豐富的圖像細節(jié)。
