[新品] CS-8000 半導(dǎo)體曲線描繪儀 
| - 高達(dá) 5kV,高達(dá) 2000A 的大功率測(cè)試
- 精確的微電流測(cè)量(分辨率 250fA)
- 12.1英寸大觸摸屏
- 多種GATE信號(hào)輸出功能
- 廣泛的溫度特性測(cè)量選項(xiàng)
- 使用探針進(jìn)行高功率晶圓測(cè)試
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CS-8000 系列半導(dǎo)體曲線示蹤儀是所有過(guò)程表征的理想選擇,具有多種單元的組合,并與下一代半導(dǎo)體測(cè)量兼容。 |
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主要規(guī)格 | 柵極電壓 | 電壓范圍 | 測(cè)量電流 | 電流測(cè)量分辨率 | ± 40V | 0.2至5 kV | 2千安培 | 250毫安 | |
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實(shí)測(cè) 優(yōu)勢(shì) | - 與 SiC 和 GaN 器件兼容
- 與晶圓和低功率設(shè)備兼容
- 兼容大功率設(shè)備
- 支持微小電流測(cè)量
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用戶友好的用戶界面 | | | | 配備 12.1 英寸 TFT-LCD (1,280 x 800) 高清大屏幕顯示器。除了觸摸屏操作外,前面板上的功能鍵和每個(gè)功能的獨(dú)立旋鈕可實(shí)現(xiàn)直觀的操作。。 | | (1) X-Y顯示區(qū) | | X、Y軸可分別設(shè)置任意電壓/電流參數(shù),顯示Vds-Id特性、閾值電壓、Vds-Vgs飽和特性等各種半導(dǎo)體特性曲線。此外,您還可以為 Y 軸設(shè)置多個(gè)參數(shù)。刻度可以在對(duì)數(shù)/線性之間切換。 | | | | ②Y-T顯示區(qū) | | 像示波器一樣在時(shí)間軸上顯示測(cè)量的應(yīng)用波形。可實(shí)時(shí)確認(rèn)脈沖寬度、測(cè)量點(diǎn)數(shù)、振蕩等波形異常,可輕松確認(rèn)是否進(jìn)行了正確的測(cè)量。所有施加的波形數(shù)據(jù)都可以與 XY 顯示數(shù)據(jù)同時(shí)保存,從而可以重新驗(yàn)證測(cè)量結(jié)果。 | | ③ 測(cè)量數(shù)據(jù)顯示區(qū) | | 詳細(xì)的測(cè)量結(jié)果、測(cè)量條件和狀態(tài)以文本格式顯示。 | | | | ④配置設(shè)置區(qū) | | 設(shè)置設(shè)備測(cè)量配置。圖形顯示支持電壓/電流單位選擇和接線更改。 | | ⑤ 參數(shù)設(shè)置區(qū) | | 在此區(qū)域中,您可以設(shè)置測(cè)量參數(shù)和測(cè)量限值,并在手動(dòng)和自動(dòng)測(cè)量之間切換。 | | | | ⑥ 操作面板 | | 按鈕和旋鈕位于前面板上,便于手動(dòng)測(cè)量。數(shù)字鍵盤允許輸入?yún)?shù)的數(shù)字。DRAIN/COLLECTOR、GATE/BASE、垂直軸和水平軸旋鈕可輕松進(jìn)行手動(dòng)測(cè)量。 | | | 應(yīng)用程序的輸出源 | | 可根據(jù)應(yīng)用任意選擇測(cè)量所需的電壓和電流單位。 右邊的照片是 上排:測(cè)試治具 下排:大電流單元 | | ■高壓機(jī)組 | | 2kV、5kV高壓機(jī)組。可選擇直流/脈沖波。可選擇恒壓/恒流驅(qū)動(dòng)測(cè)量。 | 主機(jī) | CS-8200 | CS-8500 | 電壓 (電流) | 2kV (20mA) | 5kV (8mA) | 波形 | 直流、脈沖 | 極性 | 正面及負(fù)面 | 測(cè)量電流分辨率 | 250 毫安 | | | | ■ MV單元(所有主要單元通用) | 電壓 (電流) | 200V (2A) | 波形 | DC (200 mA)、 脈沖 (2 A)、 SIN、半波、全波 | 極性 | 正/負(fù)/雙極 | 測(cè)量電流分辨率 | 250 毫安 | | 200V 中壓裝置。可選擇恒壓/恒流驅(qū)動(dòng)測(cè)量。除了 DC 和脈沖波形外,還可以選擇 SIN、半波和全波波形。 | | ■ GATE 單元(所有主要單元通用) | | 它是一個(gè) 40V 單元。可選擇恒壓/恒流驅(qū)動(dòng)測(cè)量。除DC外,還可以選擇脈沖、SIN。 | 電壓(電流) | 40V (1A) | 波形 | 直流、脈沖、正弦 | 極性 | 正/負(fù)/雙極 | 測(cè)量電流分辨率 | 250 毫安 | | | | ■ 碳?xì)浠衔飭卧?/strong> | 碳?xì)浠衔?/span> 單元 | CS-205 | CS-210 | CS-220 | 電流 (電壓) | 500A (50V) | 1kA (50V) | 2kA (50V) | 波形 | 脈沖 | 脈沖寬度 | 10 微秒至 1 毫秒 | 10 微秒至 500 微秒 | 極性 | 正面及負(fù)面 | | 安裝大電流模式后,可支持高達(dá)2000A的大電流測(cè)量。可以更改脈沖寬度、測(cè)量間隔和測(cè)量范圍。 | | | | 最小電流分辨率 250 fA | 通過(guò)采用三軸設(shè)計(jì)和優(yōu)化測(cè)量系統(tǒng),減少了設(shè)備內(nèi)部的泄漏和噪音,從而可以穩(wěn)定地測(cè)量微小電流。 | | | 多功能 GATE 信號(hào)輸出 | | GATE 信號(hào)可以按順序輸出并應(yīng)用。 保持時(shí)間可變范圍 0.000[s] 至 5.000[s] 備用信號(hào)電壓范圍 GATE 側(cè) -40[V] 至 +40[V] | | | | | | |
CS-8000系列主要規(guī)格 |
主機(jī)型號(hào)名稱 | CS-8020 | CS-8200 | CS-8500 |
高壓機(jī)組 |
峰值電壓(電流) | ― | 2kV (20mA) | 5kV (8mA) |
測(cè)量電壓范圍(滿刻度) | ― | 2kV 至 50V | 5kV 至 50V |
測(cè)量電流范圍 | ― | 20mA 至 50uA | 20mA 至 50uA |
最小測(cè)量電流分辨率 | ― | 250 毫安 | 250 毫安 |
波形 | ― | 直流/脈沖 | 直流/脈沖 |
中壓?jiǎn)挝?/span> |
峰值電壓(電流) | 200V (1A) |
測(cè)量電壓范圍(滿刻度) | 200V 至 200mV |
測(cè)量電流范圍 | 2A 至 5nA |
最小測(cè)量電流分辨率 | 250 毫安 |
波形 | DC (200 mA)、脈沖 (2 A)、SIN、半波、全波 |
門單元 |
峰值電壓(電流) | 40V (1A) |
測(cè)量電壓范圍(滿刻度) | 50V 至 1V |
測(cè)量電流范圍 | 1A 至 5nA |
最小測(cè)量電流分辨率 | 250 毫安 |
波形 | 直流/脈沖/正弦波 (50 赫茲) |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 電源線、控制接口端接器、使用說(shuō)明書(小冊(cè)子+CD) |
HC 單元型號(hào)名稱 | CS-205 | CS-210 | CS-220 |
峰值電流(電壓) | 500A (50V) | 1,000A (50V) | 2,000A (50V) |
測(cè)量電壓范圍(滿刻度) | 50V 至 200mV | 50V 至 200mV | 50V 至 200mV |
測(cè)量電流范圍 | 500A至5A | 1,000A 至 5A | 2,000A 至 5A |
波形 | 脈沖 (10 μs 至 1 ms 寬度) | 脈沖 (10 μs 至 500 μs 寬度) | 脈沖 (寬度 10 μs 至 500 μs) |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 電源線、HC-FIXTURE連接裝置、使用說(shuō)明書 |
* 使用 HC 裝置時(shí),需要單獨(dú)的檢測(cè)電纜。
測(cè)試治具型號(hào)名稱 | CS-320MV(即將推出) | CS-322HV/HC |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 電源線、標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)線組(CS-005 7 件套)、使用說(shuō)明書 |
― | 高壓/高壓電纜 (2) |
*連接測(cè)試夾具時(shí),需要單獨(dú)的電纜。
■ 電纜套件(連接測(cè)試夾具和 HC 單元時(shí)使用。) |
電纜組名稱 | 型號(hào) | 產(chǎn)品名稱 |
CS-020 MV標(biāo)準(zhǔn)電纜組 (CS-320 的推薦設(shè)置) | CS-026 | 7 根三軸電纜 (L=1.0 m) |
CS-027 | 1 條控制接口電纜 (L=1.0 m) |
CS-028 | 1 聯(lián)鎖/感應(yīng)電纜 (L=1.0 m) |
CS-021 高壓標(biāo)準(zhǔn)電纜組 (CS-322 的推薦設(shè)置) | CS-025 | 2 根高壓電纜 (L=1.0 m) |
CS-026 | 7 根三軸電纜 (L=1.0 m) |
CS-027 | 1 條控制接口電纜 (L=1.0 m) |
CS-028 | 1 聯(lián)鎖/感應(yīng)電纜 (L=1.0 m) |
CS-022 HC 標(biāo)準(zhǔn)電纜套件 (HC 單元的推薦設(shè)置) | CS-027 | 1 條控制接口電纜 (L=1.0 m) |
CS-028 | 1 聯(lián)鎖/感應(yīng)電纜 (L=1.0 m) |
| 遲滯測(cè)量 | CS-8000 具有測(cè)量 SiC 和 GaN 等具有滯后效應(yīng)的寬帶隙半導(dǎo)體的便捷功能。 雙掃功能同時(shí)顯示上掃和下掃,可以觀察滯后現(xiàn)象。 | | | 安全機(jī)制 | | 除了互鎖功能外,它還具有輸出限制功能。 您可以為電壓、電流和功率設(shè)置限制值,以防止損壞 DUT。 此外,硬件過(guò)流保護(hù)功能在電流為量程的1.4倍時(shí)切斷電流。 | | | | 組合配置 | 可根據(jù)測(cè)量對(duì)象的電壓和電流選擇 HC 單元和夾具。 | ■ 配置示例 | 在 2 kV、2,000 A 下使用時(shí) | | | 主機(jī) | | CS-8200 | 附件電纜 | | | 碳?xì)浠衔飭卧?/strong> | | CS-220 | | 高壓標(biāo)準(zhǔn)電纜組 | CS-021 | | 測(cè)試治具 | | CS-322HV/HC | | HC 標(biāo)準(zhǔn)電纜套件 | CS-022 | | | |