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SENTECH-等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 - (SI 500 PPD)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱上海德竹芯源科技有限公司
品牌
型號(hào)SI500PPD
所在地上海
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2024/5/15 9:23:48
訪問次數(shù)116

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公司介紹主營產(chǎn)品

上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領(lǐng)域的設(shè)備銷售、系統(tǒng)集成、設(shè)備國產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備、封裝設(shè)備、測(cè)試設(shè)備。目前公司已成為國內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導(dǎo)體工藝、檢測(cè)、封裝、測(cè)試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復(fù)旦大學(xué)、上海微系統(tǒng)所等半導(dǎo)體相關(guān)專業(yè)博士，擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過硬的團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前售中、售后的服務(wù)。目前公司已與眾多國際半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應(yīng)的全套設(shè)備選型和工藝整體解決方案。

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SI 500 PPD 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)采用經(jīng)典平行板電極設(shè)計(jì)，兼容低溫沉積工藝。

SENTECH-等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 - (SI 500 PPD) 產(chǎn)品信息

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積

Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition - PECVD

SI 500 PPD PECVD 采用經(jīng)典平行板電極設(shè)計(jì)，兼容低溫沉積工藝。

主要配置特點(diǎn)

● 工藝靈活性：SI 500 PPD PECVD 可在從室溫到 350℃ 的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行 SiO₂、SiNx、SiOxNy 和 α-Si 的標(biāo)準(zhǔn)的等離子體化學(xué)氣相沉積工藝。

● 預(yù)真空室：SI 500 PPD PECVD 的特色是配備預(yù)真空室和干泵，用于無油、高效率化學(xué)氣相沉積過程。

● 控制軟件：SENTECH強(qiáng)大的用戶界面友好軟件，包括模擬圖形用戶界面、參數(shù)窗口、工藝菜單編輯窗口、數(shù)據(jù)記錄和用戶管理。