測量功能
● 在 0.1 fA - 1 A / 0.5 µV - 200 V 范圍內(nèi)執(zhí)行精確的電流-電壓(IV)測量,支持點測量、掃描測量、采樣和脈沖測量
● 在1 kHz 至 5 MHz 頻率范圍內(nèi)執(zhí)行交流電容測量,支持準靜態(tài)電容-電壓(QS-CV)測量
● 的脈沖 IV 測量和超快 IV 測量,采樣間隔為 5 ns(200 MSa/s)
● 高達 40 V 的高壓脈勢,適用于非易失存儲器測試
EasyEXPERT group+ 軟件
● EasyEXPERT group+ 表征環(huán)境可在配有 15 英寸觸摸屏的分析儀主機(嵌入式Windows 7)或用戶PC上運行
● 多種測量模式,實現(xiàn)快速設置和測量執(zhí)行(應用測試、典型測試、追蹤儀測試、快速測試和示波器顯示)
● 圖形顯示和自動分析功能,能夠生成數(shù)據(jù)并導入Excel和圖像以便分析和報告
● EasyEXPERT group+ 軟件可根據(jù)需要安裝在多臺PC上,且不會收取額外的費用,因而您所在部門的用戶都能充分利用離線個人分析儀環(huán)境進行測試
主機功能特性
● 可配置和可升級的測量模塊,多達 10 插槽
● 15 英寸觸摸屏支持直觀的 EasyEXPERT group+ 圖形用戶界面(GUI)操作方式
● 嵌入式Windows 7標準版操作系統(tǒng)(WES7)
● GPIB、USB、LAN 接口和 VGA 視頻輸出端口
● Keysight B1500A 半導體器件分析儀是德科技精密電流-電壓分析儀系列,是一款能夠提供 IV、CV、脈沖/動態(tài) IV 等豐富功能的綜合分析儀,旨在滿足從基礎到應用的表征需求。B1500A 提供豐富的測量功能,支持器件、材料、半導體、有源/無源器件,甚至幾乎所有其他類型電子器件的電氣表征和測試,且具有的測量可靠性和測量效率。此外,B1500A 的模塊化體系結構和 10 個空閑插槽允許您添加或升級測量模塊,以適應不斷變化的測量需求。
● 基于 Keysight EasyEXPERT group+ 圖形用戶界面的表征軟件可在 B1500A(配有15英寸觸摸屏)的嵌入式 Windows 7平臺或PC上運行,能幫助加快表征任務速度。軟件支持交互式手動操作或結合半自動晶圓探頭的自動操作,能夠在從測量設置和執(zhí)行到結果分析和數(shù)據(jù)管理的整個表征過程中實現(xiàn)高效和可重復的器件表征。EasyEXPERT group+ 配備數(shù)百種易于使用的測量(應用測試)功能,允許您快速而輕松執(zhí)行復雜器件表征,并可以選擇在每次測量結束后將測試條件和測量數(shù)據(jù)自動保存到的內(nèi)置數(shù)據(jù)庫(工作區(qū))中,以確保不會遺失重要的信息和在日后能夠重復執(zhí)行該測量。憑借這些全面的測量功能,Keysight B1500A 提供了一款綜合的器件表征解決方案。
即用型應用程序庫
● 器件類型:應用測試
● CMOS:晶體管Id-Vg、Id-Vd、Vth、擊穿、電容、QSCV 等
● 雙極晶體管:Ic-Vc、二極管、Gummel 曲線圖、擊穿、三極管、電容等
● 分立器件:Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc、二極管等
● 存儲器:Vth、電容、耐久測試等
● 功率器件:脈沖 Id-Vg、脈沖 Id-Vd、擊穿等
● 納米器件:電阻、Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc 等
● 可靠性測試:NBTI / PBTI、電荷泵、電遷移、熱載子注入、恒增電流(J-Ramp)、TDDB 等
測試范圍 | 支持模塊 | 主要技術指標 | 主要特性 |
直流和脈沖 IV 測量 | B1510A 大功率源表模塊(HPSMU) | –高達 200 V/1 A –最小分辨率 10 fA/2 μV | –最小 100 μs 采樣(時域)測量 –最小脈寬 500 μs,100 μs 分辨率 –準靜態(tài)電容電壓(QSCV)測量,具有泄漏電流補償 –4 象限工作 –Kelvin(4 線)連接 –點測量、掃描測量和其他功能 |
B1511B 中等功率源表模塊(MPSMU) | –高達 100 V/0.1 A –最小分辨率 10 fA/0.5 μV –ASU 選件用于 0.1 fA 和 IV/CV 切換 | ||
B1517A 高分辨率源表模塊(HRSMU) | –高達 100 V/0.1 A –最小分辨率 1 fA/0.5 μV –ASU 選件用于 0.1 fA 和 IV/CV 切換 | ||
B1514A 50 μs 脈沖中等電流源表模塊(MCSMU) | –高達 30 V/1 A(0.1 A 直流) | –最小脈寬 50 μs,2 μs 分辨率 –示波器視圖支持精確的脈沖測量 | |
電容測量 | B1520A 多頻率電容測量單元(MFCMU) | –頻率范圍為 1 kHz 至 5 MHz – SMU 和 SCUU 提供 25 V 內(nèi)置直流偏置和 100 V 直流偏置 | –交流阻抗測量(C-V、C-f、C-t) –使用自動切換通過 SCUU 輕松、快速、精確地進行 IV 和 CV 測量 |
超快速脈沖和瞬態(tài) IV 測量 | B1530A 波形發(fā)生器/快速測量單元(WGFMU) | –用于波形生成的 10 ns 可編程分辨率 –200 MSa/s 同時高速測量 –10 V 峰峰值輸出 | –無負載線效應;使用 SMU 技術進行精確的脈沖 IV 測量 –支持 NBTI/PBTI、RTN 等應用 |
脈沖生成 | B1525A 高電壓半導體脈沖發(fā)生器單元(HV-SPGU) | –高達 ±40 V 高電壓輸出 | –能夠在每個通道上生成二電平和三電平脈沖和任意波形 –適用于非易失性存儲器測試 |
超快速脈沖高 k/SOI 測試 | B1542A 10 ns 脈沖 IV 參數(shù)測試解決方案 | –最小選通脈寬 10 ns,上升和下降時間為 2 ns –1 μs 電流測量分辨率 | –精確的 Id-Vd 和 Id-Vg 測量 –在直流測量和脈沖測量之間輕松切換 |