● 兼容 8 寸及以內(nèi)晶圓,可定制 chuck 支持 Taiko 的晶圓
● 電壓 3 kV,電流 130 A(后期可升級(jí)10 KV 500 A)
● 晶圓級(jí)三端垂直導(dǎo)電器件 SiC MOSFET(水平器件)
● 溫度范圍 -60℃ ~ 300℃
● 可進(jìn)行 3 kV 高壓偏置電容測(cè)量,全自動(dòng)切換測(cè)試 Ciss,Coss,Crss,測(cè)試頻率 100 kHz
● 支持探針和探卡兩種針測(cè)方式
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● 溫度范圍 -60℃ ~ 300℃
● 可進(jìn)行 3 kV 高壓偏置電容測(cè)量,全自動(dòng)切換測(cè)試 Ciss,Coss,Crss,測(cè)試頻率 100 kHz
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