TDS是一種質(zhì)譜儀,通過(guò)監(jiān)測(cè)在超高真空中加熱/升溫后從材料表面產(chǎn)生的氣體,可以評(píng)估表面雜質(zhì)和調(diào)查材料本身的成分,目前在半導(dǎo)體、液晶、有機(jī)EL、電氣、鋼鐵、汽車、陶瓷等各種領(lǐng)域,用于材料的研究和制造過(guò)程中的評(píng)估,以及質(zhì)量控制。
紅外加熱型升溫脫附質(zhì)譜儀TDS1200II是一種通過(guò)質(zhì)譜儀實(shí)時(shí)觀測(cè)樣品在超高真空中編程升溫時(shí)脫附的分子的分析儀。
由于在真空中進(jìn)行測(cè)量,水,氫,氧,二氧化碳等容易產(chǎn)生高背景的成分也可以從極小的量中檢測(cè)出來(lái)。
可以對(duì)從樣品中脫附的分子進(jìn)行化學(xué)物種的鑒定和定量。此外,它還提供了脫附氣體的吸附/結(jié)合狀態(tài)和擴(kuò)散過(guò)程等信息。
它是測(cè)量薄膜樣品和薄板樣品的理想選擇,這些樣品容易進(jìn)行紅外加熱。新款TDS1200II更新了原有TDS1200的系統(tǒng),界面采用觸控面板。符合CE使用標(biāo)準(zhǔn)。
主要特色
● 進(jìn)料固定室:能夠?qū)悠房焖俚貙?dǎo)入超高真空分析室,提高測(cè)量效率(高吞吐量)和靈敏度
● 紅外加熱系統(tǒng):通過(guò)石英棒引入的紅外線直接加熱樣品,即使在高溫區(qū)域,本底水平的升高也最小化,可實(shí)現(xiàn)高靈敏度測(cè)量
● 四級(jí)桿質(zhì)譜儀(QMS)布局:QMS電離室設(shè)置在樣品的正上方,以高靈敏度地檢測(cè)脫附氣體
● 脫附氣體的定量:當(dāng)前的定量程序可以快捷、安全地定量脫附氣體