SemionTM離子能量/離子流量分析儀(減速場(chǎng)能量分析儀)
特點(diǎn):1)RFEA探測(cè)器可安裝于基片上;
2)原位測(cè)量 :離子能量分布;離子流量;離子電流;電子流量和能量;
3)壓力高達(dá)300mT的條件下可測(cè)得的能量達(dá)500eV;
4)脈沖體系中,時(shí)間分辨測(cè)量能力可達(dá)500kHz,時(shí)間間隔為44nS;
5)等離子體懸浮電位測(cè)量調(diào)節(jié)功能;
6)便攜配置允許一個(gè)系統(tǒng)分析多個(gè)腔體;
SemionTM離子能量/離子流量分析儀(減速場(chǎng)能量分析儀)應(yīng)用領(lǐng)域:等離子體工藝研究 ;真空鍍膜 ;等離子體表面工程 ;半導(dǎo)體 ;太陽能/薄膜 ;
SemionTM 系統(tǒng)包括減速場(chǎng)能量分析(RFEA)多柵探測(cè)器、腔體整體連接裝置和電子控制單元,可安裝于多種等離子源結(jié)構(gòu),如電容耦合、電感耦合、磁電管、級(jí)聯(lián)電弧和遠(yuǎn)程源等。該產(chǎn)品的一大特色就是能夠在射頻偏壓表面上放置RFEA探測(cè)器(類似于硅片),可隨著電極移動(dòng),用以測(cè)量該表面的離子流量和離子能量。