產(chǎn)品簡介:
采用壓電自感應探針的原子力顯微鏡(AFM),創(chuàng)新產(chǎn)品、品質(zhì)。實現(xiàn)形貌成像分析、譜曲線測量等功能,免激光調(diào)節(jié)、操作簡單。推薦教學教育領域。
儀器特點
采用基于石英音叉的壓電自感應探針,如Akiyama探針。
測量成像無需激光檢測,操作簡單,原理清晰,可快速完成實驗。
支持頻率調(diào)制模式的形貌成像和力梯度-距離曲線等測量分析功能。
采用高精度嵌入式測控系統(tǒng),主機隔音抗震設計,抗干擾能力強。
內(nèi)部空間足夠安裝高倍光學物鏡,方便與光學顯微鏡適配。
可通過選配模塊和擴展接口增強系統(tǒng)功能。
Akiyama自感應探針
主要技術參數(shù)
一鍵式快速自動進樣,行程23mm,最小步距50nm。
手動調(diào)節(jié)樣品檢測位置,調(diào)節(jié)范圍±10.0mm。
樣品尺寸的直徑20mm,厚度20mm。
標配管型掃描器,掃描范圍約為20μm×20μm×5μm。
樣品逐行掃描成像,掃描成像速率0.1-30行/秒。
一次掃描多幅圖像,圖像分辨高達1024×1024物理象素。
自感應探針采用頻率調(diào)制模式,數(shù)字化PID反饋控制的響應時間為10μs。
嵌入式測控系統(tǒng)采用主頻為450MHz的雙核處理器(ARM + DSP),內(nèi)置數(shù)模混合結構的鎖相放大器,與上位機連接采用以太網(wǎng)TCP/IP通訊協(xié)議。
適配光學顯微鏡物鏡的最短工作距離僅需9.5毫米。
標準配置:
主控制器
主機底座及隔音罩
主機探頭及探針架(A型)
手動樣品調(diào)節(jié)臺(調(diào)節(jié)范圍±10.0mm)
管型掃描器(掃描范圍20μm)
計算機及專用測控軟件
儀器附件
A型探針架(WinSPM A-Probe)
選配模塊:
掃描隧道顯微鏡(STM)模塊,包括:掃描隧道顯微鏡的硬件與軟件、STM探針架(WinSPM T-Probe)
納米加工模塊,包括:圖形化納米加工、機械刻蝕、矢量掃描等功能
輔助觀察光學顯微鏡系統(tǒng):物鏡倍數(shù):0.7X~4.5X;總放大倍數(shù):42-266X連續(xù)可調(diào)(14”有效顯示面積);工作距離:115mm
管型掃描器模塊:掃描范圍有8μm、20/30μm和100μm共3種規(guī)格
應用領域及實驗
實驗一:原子力顯微鏡基本原理與操作,典型的應用領域為教學教育行業(yè),包括:大學物理演示實驗,中學納米科技創(chuàng)新實驗。
實驗二:原子力顯微鏡形貌成像及分析,典型實驗內(nèi)容包括:軟磁盤或光盤等常規(guī)樣品形貌成像及分析、光柵樣品的形貌成像及關鍵尺寸測量、納米臺階的測量分析。
實驗三:譜曲線測量與納米力學實驗,典型實驗內(nèi)容包括:力梯度-距離曲線的測量分析、液體膜厚度的測量與分析。
實驗四:掃描隧道顯微鏡(STM),包括形貌成像和隧道譜。(需增配STM模塊)
實驗五:納米加工實驗,如圖形化納米刻蝕實驗。(需增配納米加工模塊)
實驗六:與高倍的光學顯微鏡或光譜儀器的聯(lián)用,如與光學顯微鏡聯(lián)用可實現(xiàn)從微米級到納米級分辨率的原位觀察。(需增配與光譜儀聯(lián)用模塊)。
儀器整體照片 | 光柵形貌圖(20×20μm) |