高低溫載物臺(tái)CHUCK
是一款溫度范圍為-65℃到200℃氣冷型高低溫卡盤系統(tǒng),主要由氣冷高低溫卡盤和氣冷溫控器組成。系統(tǒng)具有寬泛的溫度控制范圍、緊湊的冷卻套件、純空氣制冷、高溫度精度與穩(wěn)定性控制等特性,廣泛應(yīng)用于八英寸及以下尺寸的半導(dǎo)體器件或晶圓的變溫電學(xué)性能關(guān)鍵參數(shù)分析,如:功率器件建模測(cè)試、晶圓可靠性評(píng)估、生產(chǎn)型變溫檢測(cè),變溫光電測(cè)試、射頻變溫測(cè)試等。
高低溫載物臺(tái)CHUCK 特征:
• 僅使用空氣冷卻—無液體或帕爾貼元件
• 溫度范圍為-65℃到200℃
• 模塊化系統(tǒng),適合單獨(dú)測(cè)試的需要
• 冷卻劑占地面積小,節(jié)省空間
• 兼容各大主流生產(chǎn)型或分析型探針臺(tái)
• 可集成全套的軟硬件于一體
溫控方式 氣冷/電熱 冷媒 空氣(用戶提供)
溫度范圍 -65° 至 +200°C
最小溫度設(shè)置步進(jìn) 0.1℃
溫度顯示分辨率 0.01℃
溫度穩(wěn)定性 ±0.1℃
控溫精度 ±0.1℃
溫控方式 氣冷/電熱 冷媒 空氣(用戶提供)
溫度范圍 -65° 至 +200°C
最小溫度設(shè)置步進(jìn) 0.1℃
溫度顯示分辨率 0.01℃
溫度穩(wěn)定性 ±0.1℃
控溫精度 ±0.1℃
溫控方式 氣冷/電熱 冷媒 空氣(用戶提供)
溫度范圍 -65° 至 +200°C
最小溫度設(shè)置步進(jìn) 0.1℃
溫度顯示分辨率 0.01℃
溫度穩(wěn)定性 ±0.1℃
控溫精度 ±0.1℃