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      微波等離子去膠機(jī)-半導(dǎo)體/芯片除膠

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱東莞市晟鼎精密儀器有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地東莞市
      • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
      • 更新時間2024/4/19 18:20:21
      • 訪問次數(shù)196
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      東莞市晟鼎精密儀器有限公司位于廣東省東莞市,長安鎮(zhèn)烏沙智能產(chǎn)業(yè)園。
      專注為廣大客戶(提供)表面性能處理及檢測解決方案!
      晟鼎精密創(chuàng)立于2012年,由十幾位一直從事表面性能工作的研究人員組成,立志發(fā)展民族品牌,振興民族工業(yè)。通過不懈努力和過硬的產(chǎn)品品質(zhì),以及優(yōu)質(zhì)的服務(wù),晟鼎精密已經(jīng)贏得廣泛用戶的認(rèn)可,并擁有完善的產(chǎn)品線,吸收了更多的技術(shù)及服務(wù)人才!
      晟鼎精密主營產(chǎn)品有:接觸角測量儀、等離子清洗機(jī)、激光干涉儀,全自動百格刀等表面性能處理及檢測儀器設(shè)備。
      其中晟鼎精密的接觸角測量儀,采用精密CNC高強(qiáng)度鋁合金材料,*設(shè)計的LED冷光源,德國進(jìn)口的工業(yè)級相機(jī),以及具備全自動精密注塑系統(tǒng);配合國內(nèi)*的接觸角分析軟件,目前已經(jīng)得到國內(nèi)廣大用戶的認(rèn)可!接觸角測量儀和等離子清洗機(jī)設(shè)備已經(jīng)廣泛用于玻璃行業(yè)、電子電路行業(yè)、材料行業(yè)、印刷造紙、纖維服裝等等。目前已有用戶有華為、VIVO、魅族、華南理工大學(xué)、廣州大學(xué)、重慶科技大學(xué)。。。。。。。
      晟鼎精密的國內(nèi)已有客戶超過500家,屏幕生產(chǎn)行業(yè)*超過60%。
      持續(xù)創(chuàng)新是晟鼎一直堅守的方向,除了常規(guī)接觸角測量儀,晟鼎精密已經(jīng)成功推出手持式接觸角測量儀、大平臺接觸角測量儀、高溫接觸角測量儀等更完善的產(chǎn)品系列。
      晟鼎精密還具有完善的研發(fā)生產(chǎn)儀器設(shè)備,以及專業(yè)的售前、售中、售后服務(wù)團(tuán)隊。為客戶提供熱情、專業(yè)的表面性能處理及檢測解決方案。
      晟鼎,深入表面,魅力科學(xué)。

      接觸角測量儀,等離子清洗機(jī)
      微波等離子去膠機(jī)-半導(dǎo)體/芯片除膠自由基分子的等離子體無偏壓,無電性損壞;產(chǎn)品可放在托盤、開槽或封閉的Magizine,處理效率高;Magizine可配置旋轉(zhuǎn)架,通過合理的ECR設(shè)計,良好的氣體流量調(diào)節(jié),可以達(dá)到比較高的均勻度;集成的控制系統(tǒng)設(shè)計,自主研發(fā)控制軟件,操作更方便;
      微波等離子去膠機(jī)-半導(dǎo)體/芯片除膠 產(chǎn)品信息

      為何要去除光刻膠?

      在現(xiàn)代半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,會大量使用光刻膠來將電路板圖圖形通過掩模版和光刻膠的感光與顯影,轉(zhuǎn)移到晶圓光刻膠上,從而在晶圓表面形成特定的光刻膠圖形,然后在光刻膠的保護(hù)下,對下層薄膜或晶圓基底完成進(jìn)行圖形刻蝕或離子注入,最后再將原有的光刻膠*去除。

      去膠是光刻工藝中的步。在刻蝕/離子注入等圖形化工藝完成后,晶圓表面剩余光刻膠已完成圖形轉(zhuǎn)移和保護(hù)層的功能,通過去膠工藝進(jìn)行*清除。

      光刻膠去除是微加工工藝過程中非常重要的環(huán)節(jié),光刻膠是否*去除干凈、對樣片是否有造成損傷,都會直接影響后續(xù)集成電路芯片制造工藝效果。



      半導(dǎo)體光刻膠去除工藝有哪些?

      半導(dǎo)體光刻膠去除工藝,一般分成兩種,濕式去光刻膠和干式去光刻膠。濕式去膠又根據(jù)去膠介質(zhì)的差異,分為氧化去膠和溶劑去膠兩種類別。

      各類去膠方法對比:

      上圖可見,干式去膠適合大部分去膠工藝,去膠*且速度快,是現(xiàn)有去膠工藝中好的方式,而微波PLASMA去膠技術(shù),也是干式去膠的一種。

      達(dá)因特的微波PLASMA去膠機(jī),搭載國內(nèi)微波半導(dǎo)體去膠發(fā)生器技術(shù),配置磁流體旋轉(zhuǎn)架,使微波等離子體更加高效、均勻的輸出,不僅去膠效果好,還能做到無損硅片與其他金屬器件。并提供“微波+Bias RF"雙電源技術(shù),以應(yīng)對不同客戶需求。



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