親眼見證創(chuàng)新！ 4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成的參數(shù)分析儀，可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V) 和超快速脈沖式I-V 特性。作為高性能的參數(shù)分析儀， 4200A-SCS 加快了半導(dǎo)體、材料和工藝開發(fā)速度。

4200A-SCS Clarius TM 基于GUI 的軟件提供了清楚的、不折不扣的測量和分析功能。憑借嵌入式測量專業(yè)知識和數(shù)百項隨時可以投入使用的應(yīng)用測試，Clarius Software 可以更深入地挖掘研究過程，快速而又滿懷信心。

4200A-SCS 參數(shù)分析儀可以根據(jù)不同用戶需求進(jìn)行靈活配置，不管是現(xiàn)在還是未來，都可以隨時對系統(tǒng)進(jìn)行升級。通過 4200A-SCS 參數(shù)分析儀，通往發(fā)現(xiàn)之路現(xiàn)在變得異常簡便。使用4200A-SCS加快半導(dǎo)體設(shè)備、材料和工藝開發(fā)的探索、可靠性和故障分析研究。

主要性能指標(biāo)

●I-V 源測量單元(SMU)

●± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊

●100 fA測量分辨率

●選配前端放大器提供了 10 aA測量分辨率

●10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量

●100 μF負(fù)載電容

●四象限操作

●2 線或 4 線連接

●C-V 多頻率電容單元(CVU)

●AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)

●1 kHz - 10 MHz 頻率范圍

●± 30 V (60 V差分)內(nèi)置DC偏置源，可以擴(kuò)展到± 210 V(420 V 差分)

●選配 CVIV 多通道開關(guān)，在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元(PMU)

●兩個獨立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測量通道

●200 MSa/s，5 ns 采樣率

●±40 V (80 V p-p)，±800 mA

●瞬態(tài)波形捕獲模式

●高壓脈沖發(fā)生器單元(PGU)

●兩個高速脈沖電壓源通道

●±40 V (80 V p-p)，± 800 mA

●任意波形發(fā)生器，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率

●I-V/C-V 多通道開關(guān)模塊 (CVIV)

●在 I-V測量和 C-V 測量之間簡便切換，無需重新布線或抬起探針

●把 C-V測量移動到任意端子，無需重新布線或抬起探針

●支持±210VDC偏置源

●遠(yuǎn)程前端放大器/開關(guān)模塊（PRM）

●在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈沖 I-V 測量之間自動切換

●把 4225-PMU的電流靈敏度擴(kuò)展到數(shù)十皮安

●降低電纜電容效應(yīng)參數(shù)查看，快速清晰。

推進(jìn)大膽發(fā)現(xiàn)從未如此容易。4200A-SCS參數(shù)分析儀從設(shè)置到運行檢定測試的時間減少高達(dá)50%，從而實現(xiàn)的測量和分析能力。此外，嵌入式測量專業(yè)知識提供的測試指導(dǎo)，并讓您對最終結(jié)果充滿信心。