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      ?SGM TF100-12IIII-4Z 管式爐PECVD系統(tǒng)

      參考價(jià)面議
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱洛陽西格馬高溫電爐有限公司
      • 品       牌
      • 型       號(hào)
      • 所  在  地
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時(shí)間2024/3/24 10:13:44
      • 訪問次數(shù)262
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      西格馬高溫電爐是具有多年專業(yè)研發(fā)生產(chǎn)電阻爐廠家,產(chǎn)品含:箱式馬弗爐,箱式高溫爐,智能馬弗爐,井式高溫電爐,高溫實(shí)驗(yàn)電爐。西格馬高溫電爐質(zhì)量好,性能穩(wěn)定,值得信賴.* 西格馬座落在古都、牡丹之鄉(xiāng)、洛陽市*開發(fā)區(qū)。* 西格馬擁有多項(xiàng)技術(shù)發(fā)明和多項(xiàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)。全部技術(shù)技術(shù)已經(jīng)產(chǎn)業(yè)化,應(yīng)用于企業(yè)的技術(shù)進(jìn)步,取得了良好的社會(huì)效益。* 2005年被省認(rèn)定為“*產(chǎn)品”和“”。被洛陽市評(píng)定為“知識(shí)產(chǎn)權(quán)*單位”。* 2005年已通過ISO9001:2000國(guó)際質(zhì)量體系認(rèn)證,企業(yè)的科技水平和管理水平不斷提高。* 公司擁有進(jìn)出口經(jīng)營(yíng)權(quán)。產(chǎn)品已銷往香港、中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)以及韓國(guó)、越南、馬來西亞等國(guó)家。* 西格馬品牌效應(yīng),在行業(yè)內(nèi)迅速發(fā)展、不斷提升。* 西格馬的質(zhì)量方針:誠(chéng)信為本、品質(zhì)為先,打造實(shí)驗(yàn)室儀器優(yōu)質(zhì)品牌!以人為本、科技創(chuàng)新,全力服務(wù)實(shí)驗(yàn)儀器現(xiàn)代化?。? “西格馬”的口號(hào)是:西格馬永遠(yuǎn)與實(shí)驗(yàn)室相伴!讓我們共同享受技術(shù)帶來的方便和效益!主要生產(chǎn):等溫空氣循環(huán)淬火爐、鐘罩爐、升降爐、電熱纖維爐、人工智能箱式電阻爐1000℃、1200℃、1350℃、1600℃、1750℃、1800℃箱式高溫爐、2000℃超高溫爐、2600℃超高溫爐、真空氣氛箱式電阻爐、氣壓爐、熱壓爐、真空氣氛管式電阻爐、燃燒燒結(jié)分析儀、氣固催化反應(yīng)爐、藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐、單雙向料車、電子天平、真空淬火爐產(chǎn)品。擁有多項(xiàng)技術(shù)發(fā)明和多項(xiàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)。被省認(rèn)定為“”和“*產(chǎn)品”通過ISO9001國(guó)際質(zhì)量管理體系認(rèn)證
      SGM TF100-12IIII-4Z管式爐PECVD系統(tǒng)是由SGM TF100-12IIII三溫區(qū)管式爐、4路質(zhì)子混氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、射頻電源組成
      ?SGM TF100-12IIII-4Z 管式爐PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

      SGM TF100-12IIII-4Z 管式爐PECVD系統(tǒng)是由SGM TF100-12IIII三溫區(qū)管式爐、4路質(zhì)子混氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、射頻電源組成。

      SGM TF100-12IIII三溫區(qū)管式爐設(shè)計(jì)工作溫度1200℃,連續(xù)使用溫度1100℃,具有三個(gè)溫區(qū),三個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)溫控系統(tǒng)來控制,都可設(shè)置30段升降溫程序,每個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度為150/300/150mm,總溫區(qū)長(zhǎng)度為600mm,爐管為高純石英管,爐管尺寸:100 O.D x 2400mm L ,輸入電源:208 – 240V AC,單相功率:6.6KW配有一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備加熱效率及反射率,同時(shí)延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

      主要技術(shù)參數(shù):

      電爐名稱:1200度小型三溫區(qū)管式爐

      電爐型號(hào):SGM TF100-12III三溫區(qū)管式爐

      設(shè)計(jì)工作溫度:1200℃

      連續(xù)使用溫度:1100℃

      溫區(qū)數(shù)量:三溫區(qū)(150/300/150mm總溫區(qū)長(zhǎng)度為600mm

      爐管材質(zhì):石英管

      爐管規(guī)格:φ100*2400mm

      輸入電源:208 – 240V AC,單相功率

      溫控系統(tǒng):三個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)溫控系統(tǒng)控制

      采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序

      帶有超溫和斷偶保護(hù)

      控溫精度:+/- 1 oC


      外型尺寸

      爐體:860 mmL × 380 mmW × 680 mmH

      爐體下端移動(dòng)柜:1800×600×600mm

      凈重:220 Lbs.

      運(yùn)輸重量:1200lbs。


      *此款設(shè)備安裝控制模塊,將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦,配置I5-9400H終端兩處,配置I7-10710U終端3處。


      質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng)

      四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)(精度1.5% ) :數(shù)字顯示,自動(dòng)控制.

      MFC 1范圍: 0~100 sccm

      MFC 2和3: 0~200 sccm

      MFC 4范圍: 0~500 sccm

      一個(gè)混氣罐,底部裝有泄廢液口.

      4 個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動(dòng)控制4種氣體.

      進(jìn)氣口: 4個(gè)1/4NPS.

      出氣口: 4個(gè) 1/4NPS.

      采用PLC控制流量計(jì),通過觸摸屏進(jìn)行控制


      射頻電源

      輸出功率: 5 -500W ± 1% .

      射頻頻率: 13.56 MHz ±0.005% .

      反射功率: 200W

      匹配: 自動(dòng)射頻接口: 50 Ω, N-type

      噪音: <50 dB.

      冷卻: 風(fēng)冷.

      電源: AC 208-240V, 50/60Hz

      防腐型真空計(jì)

      輸入電源 24V,1A DC(配有一電壓轉(zhuǎn)換器)

      測(cè)量范圍 3.8x10-5 -1125 Torr.

      數(shù)據(jù)顯示 數(shù)字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數(shù)據(jù)顯示單位為torr

      接頭 1/8"NPT 接頭

      產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)


      真空系統(tǒng)

      采用TRP-12的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr

      KFD25 快接,不銹鋼波紋管,手動(dòng)擋板閥與法蘭,真空泵相連.

      管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr

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