應用領域
本設備主要用于超精密電子元件的平面尺寸、高度、深度、形位公差尺寸測量,采用3D線掃激光傳感器對平面度進行掃描測量,可對復雜表面重建基準面求差,搭配CCD視覺定位,采用高分辯率相機+環(huán)形表面光+同軸光;
優(yōu)勢
* 可搭載多品牌激光3D線掃傳感器,可選配激光共焦傳感器,對特殊表面進行高度采集;
* 激光3D掃描采集參數(shù)根據(jù)特定產(chǎn)品化參數(shù),自研濾噪算法,經(jīng)過行業(yè)多種產(chǎn)品驗證;
* 行業(yè),XY二維插補掃描,補正放料角度與掃描軸不平行引起的誤差;
* 平面區(qū)域分段補償功能,減小軸直線度誤差影響;
* 高精度運動部件+全局標定補償,XYZ重復精度0.005mm
主要參數(shù)
1、檢測功能:測量深度、元件臺階、平面度、位置度等
2、檢測效率:根據(jù)產(chǎn)品表面確定(3維)
3、分辯率:2 um
本設備主要用于超精密電子元件的平面尺寸、高度、深度、形位公差尺寸測量,采用3D線掃激光傳感器對平面度進行掃描測量,可對復雜表面重建基準面求差,搭配CCD視覺定位,采用高分辯率相機+環(huán)形表面光+同軸光;
優(yōu)勢
* 可搭載多品牌激光3D線掃傳感器,可選配激光共焦傳感器,對特殊表面進行高度采集;
* 激光3D掃描采集參數(shù)根據(jù)特定產(chǎn)品化參數(shù),自研濾噪算法,經(jīng)過行業(yè)多種產(chǎn)品驗證;
* 行業(yè),XY二維插補掃描,補正放料角度與掃描軸不平行引起的誤差;
* 平面區(qū)域分段補償功能,減小軸直線度誤差影響;
* 高精度運動部件+全局標定補償,XYZ重復精度0.005mm
主要參數(shù)
1、檢測功能:測量深度、元件臺階、平面度、位置度等
2、檢測效率:根據(jù)產(chǎn)品表面確定(3維)
3、分辯率:2 um
4、工作臺尺寸: 500 x 400 mm 可支持雙平面定制
東莞市小可智能設備科技有限公司生產(chǎn)研發(fā)3D測量,3D測量設備,精密尺寸3D測量,3D測量設備參數(shù)等歡迎來電考察。