美國(guó)PMS顆粒儀 HPGP-101-C PDS-E高壓氣體探測(cè)器

高科技制造工藝通常需要高純氣體。高壓氣體探測(cè)系統(tǒng)HPGP-101-C可在線壓下為工藝氣體提供可依賴的在線污染監(jiān)測(cè)。

HPGP與大多數(shù)無(wú)毒氣體兼容，可用于許多反應(yīng)性氣體監(jiān)測(cè)應(yīng)用中

PDS-E(粒子數(shù)據(jù)系統(tǒng)-以太網(wǎng))收集和報(bào)告HPGP-101-C探測(cè)器捕獲的數(shù)據(jù)。

優(yōu)點(diǎn)

降低成本

· 工藝氣體分配系統(tǒng)的速度限定

· 在影響產(chǎn)量之前測(cè)定氣體中的顆粒。

· 與氧，氫和大多數(shù)無(wú)毒氣體兼容

改進(jìn)過(guò)程控制

· 驗(yàn)證氣體質(zhì)量

· 檢測(cè)過(guò)程是否異常

· 量化系統(tǒng)變化的影響

· 準(zhǔn)確的粒度

· 便利的網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)管理軟件，用于全面數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，管理，報(bào)告和警報(bào)

可靠性

· 被動(dòng)腔式設(shè)計(jì)不需要經(jīng)常維護(hù)

· 與其他系統(tǒng)不同，HPGP不需要監(jiān)測(cè)流體

· 惰性氣體吹掃，確保安全

· 如氣體泄漏到安全艙，切斷電源

功能

· 0.1 SCFM時(shí)具備0.1μm靈敏度

· 8個(gè)粒子通道

· 40-150 psig的線壓

· 被動(dòng)激光腔

· 并行處理陣列檢測(cè)系統(tǒng)

· 安全艙

· 同時(shí)進(jìn)行雙重探測(cè)操作

· 氧氣和氫兼容性

應(yīng)用

· 氣體分配系統(tǒng)的限定

· 過(guò)程氣體監(jiān)測(cè)

· 反應(yīng)性氣體監(jiān)測(cè)

美國(guó)PMS顆粒儀 HPGP-101-C PDS-E高壓氣體探測(cè)器

規(guī)格參數(shù)

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制造與檢測(cè)：

半導(dǎo)體設(shè)備及配件，進(jìn)口自動(dòng)焊機(jī)，日本ACCESS PFA焊接機(jī)，無(wú)毛刺切割機(jī)，日本Lasertec激光顯微鏡，美國(guó)SIGHTPIPE管焊縫光學(xué)檢查內(nèi)窺鏡，美國(guó)鷹眼HAWKEYE內(nèi)窺鏡，日本奧林巴斯內(nèi)窺鏡，日本VCR限流墊片/孔板，英福康INFICON氦檢儀等。