速度提升1.5倍
UVISEL Plus集成了的FastAcqTM快速采集技術(shù),可在3分鐘以內(nèi)實(shí)現(xiàn)高分辨的樣品測試(190-2100 nm),校準(zhǔn)僅需幾分鐘。
靈敏度提升2倍
基于25年經(jīng)驗(yàn),UVISEL Plus相位調(diào)制橢偏儀提供純正有效的偏振調(diào)制,可用于各種樣品的精確測量,的FastAcqTM速采集技術(shù)使得測試靈敏度提高至原有的兩倍,從而能獲得面薄膜和納米級(jí)低襯度襯底樣品的更多信息。
靈活拓展
UVISEL Plus橢偏儀模塊化設(shè)計(jì),可靈活拓展,以適應(yīng)的應(yīng)用及預(yù)算需求。相較于其他供應(yīng)商,UVISEL Plus統(tǒng)的可升級(jí)性能將更好的滿足您未來的應(yīng)用需求。

優(yōu)質(zhì)的性能
UVISEL Plus基于相位調(diào)制技術(shù),相位調(diào)制與高質(zhì)量消色差光學(xué)設(shè)計(jì)的結(jié)合提供了無可匹的膜厚測試效果。
?信號(hào)采集過程無移動(dòng)部件
?光路中無增加元件
?高頻調(diào)制 50 kHz
?測試全范圍的橢偏角,Ψ (0-90,Δ (0-360)
項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
---|---|
光譜范圍 | UVISEL Plus:190 - 885 nm UVISEL Plus NIR:190 - 2100 nm |
光源 | 75 W 氙燈 |
標(biāo)準(zhǔn)光斑尺寸 | < 3 mm (90o) |
手動(dòng)平臺(tái) | 150 mm, 手動(dòng)調(diào)節(jié)高度 (20 mm) 和傾斜角 |
入射角 | 手動(dòng):55o - 90o,步長5o |
FUV-VIS范圍 | 高靈敏度光電倍增管檢測器&低雜散光 |
NIR范圍 | InGaAs檢測器 |