采用了三重掃描方式,運(yùn)用激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化等三種不同的掃描原理,高倍率和低倍率,平面、凹凸表面的細(xì)微粗糙度,以及鏡面體,透明體等。基恩士VK-X3000系列形狀測量激光顯微系統(tǒng)擁有應(yīng)對多種樣品的測量能力(從1nm到50mm),納米/微米/毫米一臺(tái)完成測量。
觀察
從光學(xué)顯微鏡到SEM領(lǐng)域一臺(tái)設(shè)備涵蓋
· 42 至 28800 倍
· 無需對焦
· 適用于多種樣品
測量
非接觸瞬間掃描形狀
· 不會(huì)損傷目標(biāo)物
· 納米級(jí)別也可準(zhǔn)確測量
· 透明體和坡度大的目標(biāo)物也可測量
分析
希望了解的表面“差異”一目了然
· 定量化微小形狀
· 輕松比較多個(gè)樣品
· 粗糙度分析
三重掃描方式
解決“難以測量”的難題
可根據(jù)樣品工件的材料、形狀和測量范圍,選擇激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化等三種不同的掃描原理,進(jìn)行高精度測量。
分辨率0.01 nm
和大范圍區(qū)域也能測量
