初項(xiàng)0.28µm的高精度CNC三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)LEGEX系列
●LEGEX系列為初項(xiàng)0.28µm的高精度CNC三坐標(biāo)測(cè)量機(jī),對(duì)所有可能產(chǎn)生誤差的因素進(jìn)行嚴(yán)格分析并排除或地降低其影響。
●本體底座部分嚴(yán)選材料,采用密封結(jié)構(gòu)以實(shí)現(xiàn)高剛性、高衰減性。采用FEM結(jié)構(gòu)解析模擬進(jìn)行的應(yīng)力分析,保證了幾何運(yùn)動(dòng)精度,使負(fù)荷及其它變量波動(dòng)造成的誤差降至最小。此外,還引入了各種技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)超高精度,如驅(qū)動(dòng)單元的結(jié)構(gòu)和振動(dòng)對(duì)策等。
●用于位置檢測(cè)的長(zhǎng)度測(cè)量單元配備了超高精度測(cè)量單元(自社開(kāi)發(fā)),該單元采用熱膨脹系數(shù)為≒0的超高精度微晶玻璃尺和高分辨力、高性能反射線性編碼器的組合,具有的位置檢測(cè)能力,可實(shí)現(xiàn)超高精度的機(jī)器控制功能。
●提供豐富的選件,包括觸發(fā)式和非觸發(fā)式測(cè)頭,數(shù)據(jù)處理部等支持各種工件輕松實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。
規(guī)格
型號(hào) 項(xiàng)目 | LEGEX 574 | LEGEX 774 | LEGEX 776 | LEGEX 9106 | LEGEX 12128* |
測(cè)量范圍 | X軸 | 500mm | 700mm | 700mm | 900mm | 1200mm |
Y軸 | 700mm | 700mm | 700mm | 1000mm | 1200mm |
Z軸 | 450mm | 450mm | 600mm | 600mm | 800mm |
LEGEX系列主機(jī)精度
使用測(cè)頭 | 允許長(zhǎng)度測(cè)量誤差 ISO 10360-2:2009(JIS B 7440-2:2013) |
MPP310Q | E0,MPE=0.28+L/1000* |