日本YAMATO雅馬拓 DTN430C潔凈厭氧高溫氣氛爐,潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。
日本YAMATO雅馬拓 DTN430C潔凈厭氧高溫氣氛爐產(chǎn)品特點:
. zui高工作溫度360℃和500℃。
. 采用耐熱高性能高效過濾器,可在潔凈的環(huán)境下進行高溫烘烤。
. 高氣密性的壓力箱構(gòu)造,氧濃度到達時間短,N2 消耗量很低。
. 磁密封保持高氣密性,采用水冷機構(gòu)保護密封部件免受熱量影響。
. 可實現(xiàn)快速升溫和降溫,升降溫速率可調(diào)節(jié)。
. 標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置,對氣體進行冷卻回收。
. 可選型號DTN430C/630C/450C/650C
安全性
. 門檢測開關(guān)
. 溫度過升防止器
. 氧濃度異常安全裝置
. 氮氣壓力檢測
. 氮氣流量檢測
. 冷卻水流量檢測
. 漏水傳感器
. 過電流漏電漏電保護開關(guān);
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日本YAMATO雅馬拓 DTN430C潔凈厭氧高溫氣氛爐技術(shù)參數(shù):
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