真空泵是指運用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。
簡單而言,真空泵是用各種各樣方式在某一密閉空間中改進、造成和保持真空泵的設(shè)備。在泵腔內(nèi)產(chǎn)生根據(jù)轉(zhuǎn)動造成體積的轉(zhuǎn)變 而將氣體排出來泵外,主要是在吸氣過程中,吸氣腔體積擴大,真空值減少,將器皿內(nèi)氣體吸進泵腔,在排氣管全過程中體積縮小,氣體壓強擴大,最后根據(jù)骨架密封將吸進的氣體排出來泵外。
按真空泵的原理,真空泵大部分能夠分成二種種類,即氣體收集泵和氣體傳送泵。
特點
(1)在較寬的工作壓力范疇內(nèi)有很大的泵效;
(2)轉(zhuǎn)子具備優(yōu)良的幾何圖形對稱,故震動小,運行穩(wěn)定。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和外殼間均有空隙,無需潤化,磨擦損害小,可大幅度降低推動輸出功率,進而可完成較高速旋轉(zhuǎn);
(3)泵腔內(nèi)不用用食油密封性和潤化,可降低油蒸汽對超濾裝置的環(huán)境污染;
(4)泵腔內(nèi)無縮小,無自動排氣閥。構(gòu)造簡易、緊密,對被抽氣體中的塵土和水蒸氣不比較敏感;
(5)縮小較為低,對氡氣抽真空實際效果差;
(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。