山東聯(lián)盛電子設(shè)備有限公司，成立于2014年5月，坐落于聊城市高唐經(jīng)濟開發(fā)區(qū)，是集半導體芯片濕制程專業(yè)的設(shè)備的生產(chǎn)、研發(fā)、銷售、服務(wù)于一體的綜合性高科技公司。公司已經(jīng)和山東大學微電子學院清洗技術(shù)中心加強產(chǎn)學研合作，共同深度研發(fā)清洗技術(shù)。公司目前已申請國家30多項，其中發(fā)明6項，并建立了省級企業(yè)技術(shù)中心，市級企業(yè)，市級半導體設(shè)備研發(fā)中心，申請通過ISO9001質(zhì)量體系認證，ISO14001質(zhì)量環(huán)境體系認證，半導體SEMI-S2專業(yè)認證。涉及行業(yè)有半導體IC，MOS功率器件，MEMS, SOI, GaAs, GPP，SIC，CaN芯片，LED，光伏，半導體陶瓷基片，半導體玻璃基片等行業(yè) 。主要設(shè)備有：全自動RCA清洗機、全自動鍍鎳鍍金清洗機、全自動擴散清洗機（磷擴，硼擴）、全自動溝槽蝕刻機、全自動二氧化硅蝕刻、爐管清洗機、CDS(SDS)系統(tǒng)，B Clean、Oxide Remove、 Nitride Remove、 PR Strip、lift off、 ParticleRemove、 Solvent Clean、Wafer Reclaim、 Metal Etch、M2 Clean。