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      RTA系列快速熱退火爐

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱凱戈納斯儀器商貿(mào)(上海)有限公司
      • 品       牌
      • 型       號RTA
      • 所  在  地
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時間2023/11/16 8:04:40
      • 訪問次數(shù)134
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      凱戈納斯儀器商貿(mào)(上海)有限公司是由瑞典Hot Disk有限公司注資成立的,是一家朝氣蓬勃的儀器商貿(mào)公司,在市場 上享有良好的聲譽(yù)。公司成立近二十年來,致力于成為熱物性設(shè)備的系統(tǒng)供應(yīng)商,主要業(yè)務(wù)是在中國和一些鄰國開發(fā)、制造并銷售瑞典Hot Disk品牌熱常數(shù)分析儀。目前也代理日本ai-phase公司測試薄膜材料熱擴(kuò)散系數(shù)的設(shè)備,以及加拿大Thermtest公司所的傳統(tǒng)平板熱流計法、專線法和熱帶法導(dǎo)熱儀,等世界上等的*熱物性分析儀器。多年來,公司也是以色列Nanonics公司近場光學(xué)顯微鏡的中國國內(nèi)-家供應(yīng)商。近,我們增加了日本Advance Riko公司紅外金面反射爐、日本SUGA公司SPS (放電等離子燒結(jié)爐)設(shè)備的國內(nèi)-家代理。
      RTA系列快速熱退火爐
      RTA系列快速熱退火爐 產(chǎn)品信息

      RTA系列快速熱退火爐

      RTA系列可處理2~12 英寸(50~300mm)的樣品,10s內(nèi)即可到設(shè)置的退火溫度。

      該爐體采用水冷壁的結(jié)構(gòu),結(jié)合紅外加熱的高能量密度,近紅外的波長快速升溫特點,搭配高精度,快速響應(yīng)的溫控器進(jìn)行精確溫度控制。

      RTA系統(tǒng)可滿足用戶對于工藝配方的控制(溫度控制,升降溫速率控制,氣氛及氣體流量控制等)。RTA系統(tǒng)有助于找到的熱處理方式

      應(yīng)用

      · 離子注入后的活化退火

      · 沉積氧化膜的退火

      · 歐姆電極合金化

      · PZT,SBT和其它鐵電薄膜的結(jié)晶退火

      · 硅化物及自對準(zhǔn)硅化物的生成

      · 發(fā)光元件,半導(dǎo)體激光基板的熱處理

      · 超淺結(jié)的生成

      · 鐵電電容器沉積

      · 柵氧化膜的生成

      特點:

      · 升溫速率可達(dá)200℃/s

      · 可搭配自動傳樣機(jī)器人

      · 可連接半導(dǎo)體制造設(shè)備

      · 各個加熱區(qū)的燈管功率單獨可控,可以對不同尺寸的樣品實現(xiàn)均勻加熱

      參數(shù):

      關(guān)鍵詞:溫控器 機(jī)器人
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